[实用新型]一种双管自动玻封炉有效
申请号: | 201920194144.3 | 申请日: | 2019-02-13 |
公开(公告)号: | CN209910400U | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 颜廷福 | 申请(专利权)人: | 青岛福润德微电子设备有限公司 |
主分类号: | F27D3/04 | 分类号: | F27D3/04;F27D7/06;F27D19/00;F27D1/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 送料仓 烧结炉体 供气装置 封炉 送料 保护气体 送料轨道 排气管 烧结炉 双管 体内 本实用新型 自动点火器 自动进出料 并排设置 顶端设置 工作效率 供应氮气 供应氢气 客户需求 烧结环境 送料机构 双炉体 移动 元器件 氦气 推入 自动化 承载 | ||
1.一种双管自动玻封炉,其特征在于,包括机架、设置于机架上的烧结炉体、设置于烧结炉体前端的送料仓、设置于送料仓中并沿送料仓向烧结炉体移动的送料舟、用于推动送料舟移动的送料机构、以及连接烧结炉体后端用于向烧结炉体内提供保护气体的供气装置,其中,所述烧结炉体设置为2个,两烧结炉体并排设置于机架上,其中一烧结炉体连接供应氢气的供气装置,另一烧结炉体连接供应氮气或氦气的供气装置,两烧结炉体连接的送料仓上分别连接有排气管,排气管顶端设置有自动点火器,送料仓内设置送料轨道,送料舟承载待烧结元器件由送料机构沿送料轨道推入烧结炉体内,烧结过程中供气装置向烧结炉体内持续供气,烧结炉体内多余气体经排气管排出并通过自动点火器燃烧。
2.根据权利要求1所述的双管自动玻封炉,其特征在于,所述烧结炉体包括石英管和套设于石英管外的加热器,所述加热器通电加热实现对石英管加热。
3.根据权利要求1所述的双管自动玻封炉,其特征在于,所述送料机构包括连接送料舟的推杆、连接推杆的L型连接杆、以及与L型连接杆连接的送料气缸,所述L型连接杆设置于送料仓下方的机架上,所述机架上对应L型连接杆设置有多个导孔板。
4.根据权利要求1所述的双管自动玻封炉,其特征在于,所述送料仓前端设置有活动仓门,所述活动仓门上设置有用于推杆穿过的通孔。
5.根据权利要求1所述的双管自动玻封炉,其特征在于,所述烧结炉体后端设置后炉门。
6.根据权利要求2所述的双管自动玻封炉,其特征在于,所述烧结炉体的石英管内设置有温度探头,所述加热器的通电由控制器控制,所述控制器与温度探头通信连接。
7.根据权利要求1所述的双管自动玻封炉,其特征在于,所述供气装置设置电控阀门控制供气量,所述电控阀门与控制器控制连接。
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