[实用新型]一种电子芯片生产车间用废气处理装置

权利要求书

1.一种电子芯片生产车间用废气处理装置，包括箱体(1)，箱体(1)的内部设置有工作腔内，并在工作腔内多组过滤网(2)和多组UV光解灯(3)，多组UV光解灯(3)与多组过滤网(2)间隔设置，箱体(1)的右端设置有排气口，并在排气口处设置有排气风机(4)，排气风机(4)的输出端设置有排气管(5)；其特征在于，还包括废气收集罩(6)、操作台(7)、左支板(8)、右支板(9)、顶板(10)、两组螺纹管(11)、两组螺纹杆(12)、安装板(13)、两组连接杆(14)和调节螺杆(15)，所述左支板(8)和右支板(9)的底端分别与操作台(7)顶端的左侧和右侧连接，左支板(8)和右支板(9)的底端分别与顶板(10)底端的左侧和右侧连接，所述顶板(10)的左端和右端均设置有上下贯通的安装通孔，并在两组安装通孔内均固定安装有滚珠轴承(16)，所述两组螺纹管(11)的底端自顶板(10)的顶端分别穿过两组滚珠轴承(16)至顶板(10)的下方，所述两组螺纹杆(12)的底端分别与安装板(13)顶端的左侧和右侧连接，两组螺纹杆(12)的顶端分别插入并螺装至两组螺纹管(11)的底端内部，所述两组连接杆(14)的顶端分别与安装板(13)底端的左前侧和右前侧固定连接，两组连接杆(14)的底端分别与废气收集罩(6)的左端前侧和右端前侧可转动连接，安装板(13)的顶端中部设置有前后方向的条形孔(17)，并在条形孔(17)内设置有滑块(18)，所述滑块(18)可沿条形孔(17)前后滑动，并在滑块(18)的中部设置有上下贯通的调节螺孔，所述调节螺杆(15)的底端自滑块(18)的顶端螺装穿过调节螺孔至安装板(13)的下方并与废气收集罩(6)的顶端后侧球铰连接；还包括底座(19)、喷淋箱(20)、喷淋泵(21)、进气风机(22)和连通风管(23)，所述喷淋箱(20)和箱体(1)均安装于底座(19)的顶端，并在喷淋箱(20)的内部设置有放置腔，放置腔的底部装有吸收液(24)，放置腔的顶部设置有喷淋装置(25)，所述喷淋泵(21)的输入端自喷淋箱(20)的右端底部伸入至放置腔内并渗入吸收液(24)中，喷淋泵(21)的输出端自喷淋箱(20)的右端顶部伸入至放置腔内并与喷淋装置(25)的输入端连通，所述连通风管(23)的一端自喷淋箱(20)的顶端伸入至放置腔内，连通风管(23)的另一端自箱体(1)的左端伸入至工作腔内，所述进气风机(22)安装于喷淋箱(20)的左端，进气风机(22)的输入端与废气收集罩(6)连通，进气风机(22)的输出端自喷淋箱(20)的左端伸入至放置腔内并伸入至吸收液(24)中。

2.如权利要求1所述的一种电子芯片生产车间用废气处理装置，其特征在于，所述连通风管(23)的输入端连通设置有干燥箱(26)，所述干燥箱(26)的内部设置有空腔，并在空腔内设置有安装框(27)，所述安装框(27)内装有氯化钙干燥剂(28)，干燥箱(26)的底端与喷淋箱(20)的顶端连通。

3.如权利要求2所述的一种电子芯片生产车间用废气处理装置，其特征在于，所述空腔的前侧壁和后侧壁上分别设置有前滑槽和后滑槽，所述安装框(27)的前端和后端分别设置有前滑条(29)和后滑条，所述前滑条(29)和后滑条分别滑动设置于前滑槽和后滑槽内，干燥箱(26)的左端设置有更换口，并在更换口处设置有密封门板(30)。

4.如权利要求3所述的一种电子芯片生产车间用废气处理装置，其特征在于，所述条形孔(17)的左侧壁和右侧壁上分别设置有左滑槽和右滑槽，所述滑块(18)的左端和右端分别设置有左滑板和右滑板，所述左滑板和右滑板分别滑动设置于左滑槽和右滑槽内。

5.如权利要求4所述的一种电子芯片生产车间用废气处理装置，其特征在于，还包括成膜装置，所述成膜装置包括上板体(31)和下板体(32)，所述上板体(31)和下板体(32)均横向设置于放置腔内，上板体(31)和下板体(32)均位于喷淋装置(25)的下方，上板体(31)位于下板体(32)的上方，并在上板体(31)和下板体(32)之间留有间隙，上板体(31)上设置有多组第一圆孔(33)，所述下板体上设置有多组第二圆孔(34)。