[实用新型]一种直写光刻机图形发生器的FPGA填充装置

说明书

本实用新型公开了一种直写光刻机图形发生器的FPGA填充装置，属于光刻机技术领域，其技术方案要点是，包括FPGA可编程器件和通信引脚，所述FPGA可编程器件为矩形板，所述FPGA可编程器件的外表面周侧设有所述通信引脚，所述通信引脚与所述FPGA可编程器件固定连接；在FPGA可编程器件的上表面设有编程单元安装板，编程单元安装板与FPGA可编程器件固定连接，编程单元安装板数量为多个，且编程单元安装板与FPGA可编程器件之间倾斜设置，通过在FPGA可编程器件的上表面设置若干倾斜设置的编程单元安装板，将安装区域立体化，在单位面积内，可以写入编程单元的面积更大，因此可在同样面积内，同样精度下，写入更多的编程单元。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种直写光刻机图形发生器的 FPGA填充装置。

背景技术

FPGA即现场可编程门阵列，它是在PAL、GAL、CPLD等可编程器件的基础上进一步发展的产物，它是作为专用集成电路领域中的一种半定制电路而出现的，既解决了定制电路的不足，又克服了原有可编程器件门电路数有限的缺点，以硬件描述语言所完成的电路设计，可以经过简单的综合与布局，快速的烧录至FPGA上进行测试，是现代IC设计验证的技术主流。这些可编辑元件可以被用来实现一些基本的逻辑门电路或者更复杂一些的组合功能比如解码器或数学方程式，在大多数的FPGA里面，这些可编辑的元件里也包含记忆元件例如触发器或者其他更加完整的记忆块。

光刻机图形发生器用FPGA可编程器件存在以下不足：

1、现有的多数FPGA可编程器件均集中在硅基板上，但为了编程更多功能，在基板面积不变的情况下，需要缩小填充的精度，使写入过程越来越难，精度要求过高，难度较大，

2、另外在面积不便的小块基板上，写入的电路功能越多，会导致热量产生较多，且集中，不容易散热。

实用新型内容

本实用新型提供一种直写光刻机图形发生器的FPGA填充装置，具有精度不变的情况下，单位面积内可写入更多电路，同时增强散热效果的问题。

本实用新型是这样实现的，一种直写光刻机图形发生器的FPGA填充装置，包括FPGA可编程器件和通信引脚，所述FPGA可编程器件为矩形板，所述 FPGA可编程器件的外表面周侧设有所述通信引脚，所述通信引脚与所述FPGA 可编程器件固定连接，所述FPGA可编程器件的上表面设有编程单元安装板，所述编程单元安装板与所述FPGA可编程器件固定连接，且所述编程单元安装板与所述FPGA可编程器件之间倾斜设置，所述编程单元安装板数量为多个，且多个所述编程单元安装板均匀分布在所述FPGA可编程器件上，所述FPGA 可编程器件上还开设有安装孔，所述安装孔贯穿所述FPGA可编程器件。

优选的，所述FPGA可编程器件至少包括硅基板、非易失存储单元、随机存储单元、可编程功能单元和非功能可编程逻辑单元，所述非易失存储单元、随机存储单元、可编程功能单元和非功能可编程逻辑单元均分布于所述硅基板上，且所述非易失存储单元、随机存储单元、可编程功能单元和非功能可编程逻辑单元均与所述硅基板固定连接。

优选的，所述通信引脚至少包括可编程I/O单元和布线通道，所述可编程 I/O单元数量为若干，且所述可编程I/O单元分别分布在所述硅基板的四周外表壁上，所述可编程I/O单元与所述硅基板固定连接。

优选的，所述硅基板的内部还嵌设有所述布线通道，所述布线通道与所述硅基板固定连接。

优选的，所述布线通道数量为若干，且所述布线通道分为两组，分别呈纵向和横向分布在所述硅基板内。

优选的，所述编程单元安装板与所述FPGA可编程器件之间的倾斜角度为四十五度。

优选的，所述非易失存储单元、随机存储单元、可编程功能单元和非功能可编程逻辑单元之间通过所述布线通道电性连接。