[实用新型]一种电子束扫描测量仪用晶圆定位装置

权利要求书

1.一种电子束扫描测量仪用晶圆定位装置，其特征在于，所述晶圆定位装置包括：主控板、传感器信号处理器和传感器组，所述主控板包括主控器、机台通讯接口、传感器接口电路、晶圆尺寸选择拨码开关和机型选择拨码开关，所述主控器分别连接所述机台通讯接口、传感器接口电路、晶圆尺寸选择拨码开关和机型选择拨码开关，所述主控板通过所述机台通讯接口与电子束扫描测量仪中的机台建立通讯连接，所述主控板通过所述传感器接口电路与所述传感器信号处理器建立连接，所述传感器信号处理器连接所述传感器组，所述传感器组中包括六个传感器，所述六个传感器位于同一个虚拟圆的圆周上，所述虚拟圆对应一种晶圆尺寸，所述传感器组中的各个传感器分别连接所述传感器信号处理器；所述传感器组中的各个传感器为对射式光纤传感器，则对射式光纤传感器的发光管和接收管对向设置并分别位于待定位的晶圆两侧，或者，所述传感器组中的各个传感器为反射式光纤传感器，则反射式光纤传感器的发光管和接收管位于待定位的晶圆的同一侧。

2.根据权利要求1所述的晶圆定位装置，其特征在于，所述晶圆定位装置中包括至少两个传感器组，各个传感器组所在的虚拟圆分别对应不同的晶圆尺寸，对应的晶圆尺寸包括但不限于3寸、4寸、6寸和8寸。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆定位装置，其特征在于，所述传感器组中的传感器采用型号为FU-55的对射式光纤传感器，或者，采用型号为FU-20的反射式光纤传感器。

4.根据权利要求1或2所述的晶圆定位装置，其特征在于，所述主控器包括相连的第一CPU和第二CPU，所述第一CPU和所述第二CPU均采用型号为MA84G564的处理器。

5.根据权利要求1或2所述的晶圆定位装置，其特征在于，所述传感器信号处理器采用型号为FS-V11/12N的光纤放大器。