[实用新型]一种上下料装置

权利要求书

1.一种上下料装置，其特征在于，包括机架(100)；所述的机架(100)内水平设有第一输送机构(210)；所述的第一输送机构(210)正下方设有与其输送方向相反的第二输送机构(220)；所述的第一输送机构(210)的输出端对接有第三输送机构(300)；所述的机架(100)上设有升降机构(400)；所述的第三输送机构(300)固定在用于将其分别与第一输送机构(210)输出端和第二输送机构(220)输入端对接的升降机构(400)上。

2.根据权利要求1所述上下料装置，其特征在于，所述的第一输送机构(210)包括沿输送方向设置其在两侧且相互平行的第一限位挡板(213)、沿运输方向设置的第一皮带(211)和与电机联动的第一滚轴(212)；所述的第一皮带(211)套设在第一滚轴(212)上。

3.根据权利要求1所述上下料装置，其特征在于，所述的第二输送机构(220)包括沿输送方向设置其在两侧且相互平行的第二限位挡板(223)、沿运输方向设置的第二皮带(221)和与电机联动的第二滚轴(222)；所述的第二皮带(221)套设在第二滚轴(222)上。

4.根据权利要求1所述上下料装置，其特征在于，所述的第三输送机构(300)包括沿输送方向设置其在两侧且相互平行的第三限位挡板(303)、沿运输方向设置的第三皮带(301)和与电机联动的第三滚轴(302)；所述的第三皮带(301)套设在第三滚轴(302)上。

5.根据权利要求4所述上下料装置，其特征在于，所述的第三限位挡板(303)的侧壁设有用于固定晶圆片的承载装置的紧锁机构(304)。

6.根据权利要求5所述上下料装置，其特征在于，所述的紧锁机构(304)为水平延伸的气压缸，所述气压缸的固定端设置在其中一块第三限位挡板(303)上，气压缸的活动端朝向另一块第三限位挡板(303)。

7.根据权利要求1所述上下料装置，其特征在于，所述的机架(100)上设有外板(500)。

8.根据权利要求1所述上下料装置，其特征在于，所述的升降机构(400)包括滑轨(403)、丝杆(404)、沿滑轨(403)和丝杆(404)往复运动的滑动平台(401)和与丝杆(404)螺纹配合的涡轮减速电机(402)；所述的滑轨(403)和丝杆(404)均竖直设置在机架(100)上；滑动平台(401)与第三输送机构(300)固定连接并与滑轨(403)滑动配合；所述的涡轮减速电机(402)固定在滑动平台(401)上。