[实用新型]一种光阻剥离液废液回收配液装置

说明书

本实用新型涉及一种光阻剥离液废液回收配液装置，它包括：剥离液收集罐，蒸发器，所述蒸发器通过第一循环泵与所述剥离液收集罐相连通；废液排出机构，所述废液排出机构与所述蒸发器底部相连通以用于承接其内的浓缩液；脱水塔，所述脱水塔与所述蒸发器顶部相连通，用于除去馏分中的水份；冷却机构，所述冷却机构与所述脱水塔相连接，用于冷却馏分；树脂吸收组件；成品配制组件。这样能够有效将光阻剥离液废液中二甲基亚砜、乙醇胺蒸出并经除水、冷却后储存，对应配置后可直接使用，有利于降低成本并提高剥离液的使用效率。

技术领域

本实用新型属于光阻剥离液废液回收领域，涉及一种回收配液装置，具体涉及一种光阻剥离液废液回收配液装置。

背景技术

在硅基材料制造工艺中，通常先在二氧化硅、Cu等材料表面上形成光阻的涂层，利用适当的掩模进行曝光、显影，根据所用光阻的特性，除去曝光或者未曝光部分的光阻，在所要求的部位形成光阻图案，然后在该光阻图案上进行等离子刻蚀或反应性气体刻蚀，进行图形转移。

光阻剥离液用于将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光阻除去，它是硅基材料晶片进行光阻化学清洗过程所需的常用化学品，主要由有机胺、极性有机溶剂和/或水等组成。光阻剥离液使用后产生的废水中含量大量的有机溶剂（如二甲基亚砜、乙醇胺等），如果直接排放会对环境产生极大的破坏；如果直接委外，无法对其进行有效利用，无形中增加了企业的生产成本。

发明内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种光阻剥离液废液回收配液装置。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种光阻剥离液废液回收配液装置，它包括：

剥离液收集罐，

蒸发器，所述蒸发器通过第一循环泵与所述剥离液收集罐相连通；

废液排出机构，所述废液排出机构与所述蒸发器底部相连通以用于承接其内的浓缩液；

脱水塔，所述脱水塔与所述蒸发器顶部相连通，用于除去馏分中的水份；

冷却机构，所述冷却机构与所述脱水塔相连接，用于冷却馏分；

树脂吸收组件，所述树脂吸收组件通过提升泵与所述冷却机构相连通，用于去除冷却液中的阴、阳离子；

成品配制组件，所述成品配制组件包括与所述树脂吸收组件相连通的混配罐。

优化地，它还包括分别与所述剥离液收集罐和所述蒸发器相连通的油浴锅。

优化地，所述冷却机构包括与所述脱水塔相连通的冷却器、与所述冷却器相连接并用于连接主风口的冷却泵、与所述冷却器相连通的冷却水管、与所述冷却器相连接的缓冲罐以及与所述缓冲罐相连接的储液罐。

优化地，所述树脂吸收组件包括与所述提升泵相连通的阳离子交换树脂塔以及与所述阳离子交换树脂塔底部相连通的阴离子交换树脂塔，所述阴离子交换树脂塔与所述混配罐相连接。

优化地，所述成品配制组件还包括与所述混配罐相连通的第一原料罐、连接第一原料罐和所述混配罐的第一提升泵、与所述混配罐相连通的第二原料罐以及连接第二原料罐和所述混配罐的第二提升泵。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型光阻剥离液废液回收配液装置，通过将剥离液收集罐与蒸发器、脱水塔、冷却机构和树脂吸收组件等依次连接，这样能够有效将光阻剥离液废液中二甲基亚砜、乙醇胺蒸出并经除水、冷却后储存，对应配置后可直接使用，有利于降低成本并提高剥离液的使用效率。

附图说明

图1为本实用新型光阻剥离液废液回收配液装置的结构示意图。

具体实施方式