[实用新型]一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台

说明书

本实用新型公开了一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台，其包括底座，底座上设置有夹持片，夹持片为两个相对对称并倾斜设置的金属片；底座上还设置有固定孔，固定孔为方孔，固定孔的四角分别设置有延伸槽，延伸槽与固定孔共同构成井字型结构。本实用新型能够解决现有技术中样品台不适合防止不规则结构的问题，结构简单、可靠性强、使用寿命长。

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜设备技术领域，具体涉及一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为5～35keV的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射以及其它物理信号，二次电子发射量随试样表面形貌而变化。

二次电子信号被探测器收集并转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。样品就放在样品台上。

为了平稳的放好样品，对样品台的要求一般较高，但现有扫描电镜上均为单纯的圆柱形结构，只适合放较为规则和平稳的样品。如果样品放置不当，会导致电子束没有完整的打在需要观察的表面，将会严重的影响观察样品本身。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中的上述不足，提供了一种能够解决现有技术中样品台不适合防止不规则结构的问题的用于观察不规则形状的扫描电镜样品台。

为解决上述技术问题，本实用新型采用了下列技术方案：

提供了一种用于观察不规则形状的扫描电镜样品台，其包括底座，底座上设置有夹持片，夹持片为两个相对对称并倾斜设置的金属片；底座上还设置有固定孔，固定孔为方孔，固定孔的四角分别设置有延伸槽，延伸槽与固定孔共同构成井字型结构。

上述技术方案中，优选的，夹持片的中部通过连接弹簧与底座连接。

上述技术方案中，优选的，延伸槽和固定孔的底部设置有填充垫。

上述技术方案中，优选的，填充垫为橡皮泥。

上述技术方案中，优选的，夹持片和固定孔均设置有至少两个。

本实用新型提供的上述用于观察不规则形状的扫描电镜样品台的主要有益效果在于：

本实用新型通过在底座上设置夹持片，可以利用夹持片夹持不规则形状的薄块结构，以方便观察；通过设置固定孔，方便放置夹持片不便夹持的厚块结构；通过将固定孔设置为方孔，相对于圆孔，由于方孔的侧壁为平面，两个平面间存在夹角，对于固态不规则物体，能够更好倚放。

通过在方孔四角设置延伸槽，并构成井字形，方便在延伸槽中插设长条形的片状结构，当目标物体通过夹持片不方便固定时，通过延伸槽进行固定。通过将延伸槽与固定孔共同构成井字形，方便同时固定多个长条形的片状结构。

通过将夹持片和固定孔均设置至少两个，当需要观察的样品较多时，可一次性全部放入样品台上，以便于多次观察。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的侧视图。

其中，1、底座，2、夹持片，21、连接弹簧，3、固定孔，31、延伸槽，32、填充垫。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：