[实用新型]石英坩埚气泡空乏层测厚仪

权利要求书

1.石英坩埚气泡空乏层测厚仪，其特征在于，其包括检测底座和电视显微镜；所述检测底座包括两个竖直设置的支架，在两个所述支架顶部之间固定设有显微镜固定板，在所述显微镜固定板上设有所述电视显微镜，所述电视显微镜的物镜置于所述显微镜固定板下方的两个所述支架之间；在所述物镜的镜头侧壁上设有与所述电视显微镜的光轴平行设置的镜头同步杆，在所述物镜镜片下方的所述镜头同步杆端头设有与所述电视显微镜的光轴垂直的基准杆；所述基准杆的顶端置于所述电视显微镜的视野内；在所述基准杆的底面上设有微动开关。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚气泡空乏层测厚仪，其特征在于，在所述物镜的镜头侧壁上固定套设有固定架；在所述固定架顶面上固定设有L形限位架；所述L形限位架的一端边竖直固定在所述固定架的顶面上，所述L形限位架的另一端边与所述固定架的顶面平行；在所述L形限位架另一端边下方的所述固定架上开有通孔；在所述通孔内上下滑动设有所述镜头同步杆；在所述固定架上方的所述镜头同步杆端头与所述L形限位架另一端底面之间设有调节弹簧。

3.根据权利要求1或2任一所述的石英坩埚气泡空乏层测厚仪，其特征在于，在每个所述支架两侧端底部分别设有一个支撑脚，在每个所述支撑脚上套设有柔性材料制成的缓冲套。

4.根据权利要求1或2任一所述的石英坩埚气泡空乏层测厚仪，其特征在于，在每个所述支架两侧端底部分别设有一个支撑脚，在每个所述支架底部的所述支撑脚之间转动设有一根支撑辊，两个所述支架底部的两根所述支撑辊平行设置。