[实用新型]一种多腔室等离子刻蚀机有效
| 申请号： | 201920234290.4 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN209675236U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 马立;蒋秀林;汤海洋 | 申请（专利权）人： | 晶澳(扬州)太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/18;H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 44104 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人： | 李海波<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 225131 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 腔室 工艺腔 等离子刻蚀机 水平传输装置 进料缓冲腔 刻蚀装置 真空装置 多腔室 缓冲腔 出料 工位 本实用新型 刻蚀工艺 生产效率 依次排列 两侧面 腔室门 底面 分隔 隔门 延伸 | ||
【权利要求书】：
1.一种多腔室等离子刻蚀机，包括腔室、真空装置和刻蚀装置，其特征在于，还包括水平传输装置，所述的水平传输装置位于所述腔室的底面，并延伸至所述腔室两侧；
所述腔室的两侧面设有腔室门，所述的腔室通过隔门分隔成依次排列的进料缓冲腔、工艺腔和出料缓冲腔，所述的进料缓冲腔、工艺腔和出料缓冲腔分别安装有所述的真空装置；所述的工艺腔中设有工位，所述工位上安装所述的刻蚀装置。
2.根据权利要求1所述的多腔室等离子刻蚀机，其特征在于，所述的工艺腔中设有至少一个工位，所述的工位以单排或并排的方式设置在所述的工艺腔中，所有或部分工位上安装所述的刻蚀装置。
3.根据权利要求1或2所述的多腔室等离子刻蚀机，其特征在于，所述的水平传输装置为滚轮传送带。
4.根据权利要求3所述的多腔室等离子刻蚀机，其特征在于，所述的真空装置包括真空泵和真空管道。
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