[实用新型]一种弧形工件激光直接曝光设备

权利要求书

1.一种弧形工件激光直接曝光设备，包括机架，所述机架上设置有曝光组件，其特征在于：所述机架上摆动安装有圆弧形的工件吸附组件，该工件吸附组件由摆动装置驱动由上料工位摆动至曝光完成工位，该工件吸附组件的吸附面为圆柱面且工件吸附组件的摆动中心与圆柱面的中心轴重合，所述吸附面上设置有吸附孔，该吸附孔与负压装置连通；所述曝光组件包括固定于机架上的底座，所述底座上沿水平X轴方向滑动安装有X滑座，该X滑座由X动力装置驱动，所述X滑座上沿水平Y轴方向滑动安装有Y滑座，该Y滑座由Y动力装置驱动，所述Y滑座上安装有DMD曝光镜头，该DMD曝光镜头水平设置且处于圆柱面的水平半径上，DMD曝光镜头朝向吸附面，所述水平X轴方向与圆柱面的中心轴平行，所述水平Y轴与DMD曝光镜头所在水平半径平行。

2.如权利要求1所述的一种弧形工件激光直接曝光设备，其特征在于：所述曝光设备还包括DMD曝光镜头校准装置，该校准装置包括固定于工件吸附组件上的校准相机，该工件吸附组件摆动到校准工位时该校准相机处于水平位置且与DMD曝光镜头对应，所述DMD曝光镜头安装于Z滑座上，该Z滑座沿竖直Z轴滑动安装于Y滑座上，所述Z滑座由Z动力装置驱动。

3.如权利要求2所述的一种弧形工件激光直接曝光设备，其特征在于：所述工件吸附组件包括柱面座体，该柱面座体的内表面为90°圆心角的吸附面，所述校准相机设置于柱面座体的一端且DMD曝光镜头适配。

4.如权利要求3所述的一种弧形工件激光直接曝光设备，其特征在于：所述机架上安装有摆动支座，所述摆动支座上安装有力矩电机，该力矩电机的动力端的旋转中心位于柱面座体的中心轴上，柱面座体通过摆臂安装于力矩电机的动力端。

5.如权利要求4所述的一种弧形工件激光直接曝光设备，其特征在于：所述摆臂包括第一摆臂单体和第二摆臂单体，第一摆臂单体的一端和第二摆臂单体的一端分别连接于力矩电机的动力端，第一摆臂单体的另一端和第二摆臂单体的另一端均通过连接轴与柱面座体的两端连接。

6.如权利要求5所述的一种弧形工件激光直接曝光设备，其特征在于：所述第一摆臂单体的一端和第二摆臂单体之间连接有连接杆。

7.如权利要求6所述的一种弧形工件激光直接曝光设备，其特征在于：所述X动力装置、Y动力装置、Z动力装置均为线性电机。

8.如权利要求7所述的一种弧形工件激光直接曝光设备，其特征在于：所述底座和X滑座之间设置有用于检测X滑座极限位置的极限位置检测传感器。