[实用新型]一种影像传感器测试机台

说明书

本实用新型提供了一种影像传感器测试机台，用于测试晶圆，包括：测试头，其上可转动地设置有盖板，所述盖板用于盖合所述测试头的一表面；光源，设置在所述测试头的一侧，且所述光源包括镜筒；以及驱动臂，设置在所述光源的一侧并与所述光源连接；其中，所述驱动臂被配置为，当所述盖板盖合所述测试头的所述表面时，带动所述光源靠近所述测试头，使所述镜筒穿过所述盖板伸入到所述测试头中，并将所述光源固定；所述驱动臂还被配置为，驱动所述光源远离所述测试头，使所述镜筒脱离所述盖板而使盖板能够被开启。通过驱动臂带动光源运动，使其靠近或远离测试头，方便光源的拆卸，完成板卡的更换，有效提高板卡更换的速度，进而提高晶圆测试效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种影像传感器测试机台。

背景技术

如图1a和图1b所示，用于影像传感器的半导体芯片在进行晶圆测试时，提供一种影像传感器测试机台，该测试机台配置有测试头10，所述测试头10需要搭配光源20使用。具体的，测试头10的上端面上设置有板卡槽11，板卡槽11内放置板卡(图中未示出)，板卡可为测试提供电源、时钟信号和I/V激励信号等，并同时可接收输出信号。此外，测试头10上还铰接有盖板12，盖板12可盖合在测试头10的上端面上，并且测试头10和盖板12上还共同形成有容纳槽13。实际应用时，所述光源20上设置有镜筒21，所述光源20和镜筒21组合成一整体后，镜筒21插入容纳槽13内，而后光源20通过螺钉30固定在盖板12上。最后将配备光源20的测试头10设置在一探针台40上，以利用板卡与探针台40共同来测试晶圆上的每一个晶粒的电气特性、光学特性和效能。

进而若板卡出现损坏，或者其数量及功能与待测晶圆的型号不匹配，则需要更换相配套的板卡，此时，需要拆除光源20和镜筒21方可翻转盖板12，使板卡槽11暴露后，再更换板卡。显然，目前更换板卡时，需要人工逐个拆除螺钉30，且更换板卡后，还需要再逐个拧紧螺钉30，整个更换过程费时费力，致使晶圆测试时间延长，产能降低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种影像传感器测试机台，使光源与测试头上的盖板不通过螺钉连接，以便快速地打开盖板，提高更换板卡的速度。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种影像传感器测试机台，用于测试晶圆，包括：

测试头，其上可转动地设置有盖板，所述盖板用于盖合所述测试头的一表面；

光源，设置在所述测试头的一侧，且所述光源包括一镜筒；以及驱动臂，设置在所述光源的一侧并与所述光源连接；

其中，所述驱动臂被配置为，当所述盖板盖合所述测试头的所述表面时，带动所述光源靠近所述测试头，以使所述镜筒穿过所述盖板伸入到所述测试头中，并将所述光源固定；所述驱动臂还被配置为，驱动所述光源远离所述测试头，使所述镜筒脱离所述盖板而使盖板能够被开启。

可选地，所述盖板用于盖合所述测试头的表面为所述测试头的上表面，且所述测试机台还包括与所述驱动臂连接的控制单元，所述控制单元用以控制所述驱动臂至少带动所述光源相对于所述测试头做竖直运动，以使所述光源远离或靠近所述测试头。

可选地，所述驱动臂包括至少一个可升降的第一臂，所述第一臂竖直设置并连接所述光源，且所述控制单元用以控制所述第一臂带动所述光源做竖直运动。

可选地，所述驱动臂还包括至少一个第二臂，所述第二臂的一端连接所述第一臂，另一端连接所述光源，且所述控制单元还用以控制所述第二臂带动所述光源做竖直运动或水平运动。

可选地，所述第二臂被配置为当所述光源远离所述测试头时，所述第二臂在轴向上与所述光源至少部分重叠。

可选地，所述第一臂和所述第二臂均为两个，两个所述第一臂间隔地竖直设置，且每个所述第一臂连接一个所述第二臂，两个所述第二臂均连接所述光源并位于所述光源的相对两侧，且所述光源用于至少部分容置在两个所述第二臂之间。