[实用新型]加工基板的搬送装置

说明书

本实用新型提供加工基板的搬送装置，可在不使基板表面脏污或受损下进行搬送。本实用新型的解决机构为一种加工基板的搬送装置，包括：包括并列棒材2的第一平台B；棒材2上的基板A的吸取保持机构D；在第一平台B与其前方间以进退移动机构F移动的移动体G；嵌入于移动体G上侧的第一平台B的棒材2间且并列的接受移载棒材20；以移动体G的升降机构I升降且使接受移载棒材20进退滑动的进退移动体H；接受移载棒材20上的基板A的吸取保持机构D；以及第二平台J，前述第二平台J以在移动体G前方嵌入接受移载棒材20且并列的接受棒材21、在接受棒材21间吸取基板A下面中央部分的吸取垫42、设置于接受棒材21的基板A浮起用的空气喷出孔41及使吸取垫42旋转90°的旋转机构43。

技术领域

本实用新型涉及一种例如裁切玻璃基板(液晶面板)或研磨加工边缘时的搬送装置。

背景技术

例如裁切玻璃基板或研磨加工四边边缘时，需要将基板搬送送入加工装置。当然加工后也要进行搬送取出基板。

作为前述基板搬送方法系于上段的第一平台或第二平台供给基板，如此在前进移动途中以研磨砥石研磨基板一相对向的二边缘，另一方面，下段的空的第一平台或第二平台系退后至基板供给侧，且凭借升降机构降低前进停止后基板移载结束的空的第一平台及第二平台，另一方面，凭借用以接受基板的升降机构而上升后退停止的空的第一平台及第二平台，故可有效运作并使用第一平台及第二平台(参照专利文献1)。

又，以移载装置的吸取保持装置的吸盘(垫)吸取保持基板上面，而进行基板对于前述专利文献1的第一平台及第二平台的供给及取出。

又，以马达将吸取保持装置旋转90°，而变更基板边缘方向。

[背景技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本实用新型登录第3216866号公报。

实用新型内容

[本实用新型所欲解决的课题]

又，若凭借专利文献1的搬送方式，因为是以吸取方式支持并移载基板表面(搬入时的上面)，故会使基板表面受损，而有成为产生不良品原因的问题，又，因吸取保持表面故表面会脏污，有需要去除脏污的作业等问题。

因此，本实用新型的课题系提供解决前述问题的搬送装置。

[用以解决课题的手段]

为了解决前述课题，本实用新型采用的构成包括：

一种加工基板的搬送装置，其特征在于，包括：

第一平台，其以两端朝前后方向布置且左右隔有间隔并列的水平棒材形成；

吸取保持机构，以在前述第一平台的前述棒材吸取保持在前述棒材上接受的基板的方式设置；

移动体，以在前述第一平台与其前方之间以引导机构移动引导，并以进退移动机构来回移动的方式设置；

复数接受移载棒材，是在前述移动体上侧以两端朝前后方向、且左右隔有间隔并列并嵌入于前述第一平台的棒材间的方式设置；

可逆进退移动机构，以能够被前述移动体的升降机构所升降，并使前述接受移载棒材在前后方向进退滑动的方式设置；

前述吸取保持机构，以在前述接受移载棒材吸取保持在前述各接受移载棒材上接受的前述基板的方式设置；以及

第二平台，前述第二平台以下所述构件所构成：

接受棒材，是在前述移动体前方以两端朝前后方向并列，并在前述并列间嵌入前述接受移载棒材的方式设置；

吸取垫，以吸取前述并列的接受棒材中央侧的并列的前述接受棒材间所设置前述基板下面中央部分的方式设置；