[实用新型]一种用于镀膜流水线的收放卷装置

说明书

本实用新型公开了一种用于镀膜流水线的收放卷装置，包括收卷室，所述收卷室的内部安装有收卷机构，所述镀膜室的一端设置有放卷室，所述放卷室的顶端靠近烘干机构的一侧设置有清洗机构，所述放卷室的内部设置有放卷辊筒。本实用新型通过放卷辊筒和收卷机构可以自动对镀膜前后的基材进行镀膜作业，实现流水线作业，提高了镀膜的效率，通过传动辊筒、基材和收卷辊筒之间的挤压摩擦力对镀膜后的基材进行收卷，当收卷辊筒上的基材逐渐增多后，复位弹簧受到拉伸力的作用，带动收卷辊筒转动，从而始终使收卷辊筒、基材与传动辊筒三者之间的摩擦力基本保持不变，而不会使基材的挤压力过大，从而提高了镀膜的质量。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体是一种用于镀膜流水线的收放卷装置。

背景技术

磁控溅镀系统在阴极靶材的背后放置100～1000Gauss强力磁铁，真空室充入011～10Pa压力的惰性气体作为气体放电的载体，在高压作用下Ar原子电离成为Ar离子在磁场的作用下，产生偏转，被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内，离子以摆线的方式沿着靶表面前进，在运动过程中不断与Ar原子发生碰撞，最终落在基片、真空室内壁及靶源阳极上，并在基片上沉积形成薄膜，从而完成基片的镀膜。

现在的镀膜系统通常是以流水线的方式进行作业，但是普遍存在基片的收放卷自动化程度不高，且收卷过程中，由于挤压的作用，容易造成镀膜后的基材损坏。因此，本领域技术人员提供了一种用于镀膜流水线的收放卷装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于镀膜流水线的收放卷装置，以解决上述背景技术中提出的基片的收放卷自动化程度不高，且收卷过程中，由于挤压的作用，容易造成镀膜后的基材损坏的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于镀膜流水线的收放卷装置，包括收卷室，所述收卷室的一端设置有镀膜室，且收卷室的内部安装有收卷机构，所述镀膜室的一端设置有放卷室，所述放卷室的顶端靠近镀膜室的一侧设置有烘干机构，且放卷室的顶端靠近烘干机构的一侧设置有清洗机构，所述放卷室的内部设置有放卷辊筒，所述放卷辊筒的前侧通过传动皮带与马达连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述收卷室、放卷室和镀膜室的内侧均互相连通，且收卷室、放卷室和镀膜室均与外部的真空泵连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述收卷机构包括传动辊筒，所述传动辊筒的外表面的上端设置有收卷辊筒，且传动辊筒的前侧贯穿收卷室的内侧连接有电机，所述收卷辊筒的前后侧均转动连接有活动架，所述活动架的底端转动连接有连接板，且活动架的下端靠近收卷辊筒的一侧连接有复位弹簧。

作为本实用新型再进一步的方案：所述复位弹簧的顶端与活动架连接，且复位弹簧的底端与收卷室连接，所述连接板的一端与收卷室的内侧壁通过螺栓固定连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述烘干机构包括第二密封罩，所述第二密封罩的顶端安装有加热箱，且第二密封罩的顶端位于加热箱的一侧贯穿连接有连接管，所述连接管的底端位于第二密封罩的内部设置有喷气管，所述加热箱的顶端贯穿设置有进气管，且加热箱的内部设置有加热丝。

作为本实用新型再进一步的方案：所述清洗机构包括第一密封罩，所述第一密封罩的内部设置有喷水管，且第一密封罩的顶端安装有增压泵，所述增压泵与喷水管通过管道连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

通过放卷辊筒和收卷机构可以自动对镀膜前后的基材进行镀膜作业，实现流水线作业，提高了镀膜的效率，通过传动辊筒、基材和收卷辊筒之间的挤压摩擦力对镀膜后的基材进行收卷，当收卷辊筒上的基材逐渐增多后，复位弹簧受到拉伸力的作用，带动收卷辊筒转动，从而始终使收卷辊筒、基材与传动辊筒三者之间的摩擦力基本保持不变，而不会使基材的挤压力过大，从而提高了镀膜的质量。

附图说明