[实用新型]升降承载装置及曝光机有效
申请号: | 201920244282.8 | 申请日: | 2019-02-26 |
公开(公告)号: | CN209928213U | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 程亮 | 申请(专利权)人: | 广东思沃精密机械有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00;G03F7/20 |
代理公司: | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 523000 广东省东莞市松*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 架体 导向套筒 导向柱 升降机构 配合孔 承载装置 驱动组件 升降 本实用新型 导向作用 曝光产品 曝光设备 位置偏差 运动轨迹 准确对焦 第一端 曝光机 驱动端 正对 穿过 曝光 驱动 保证 | ||
1.一种升降承载装置,其特征在于:包括第一架体、升降机构和第二架体,所述升降机构包括至少一个驱动组件,各所述驱动组件的驱动端均安装于所述第一架体上并用于驱动所述第一架体朝向所述第二架体运动,所述升降机构还包括至少一个导向柱和至少一个导向套筒,各所述导向柱的第一端均安装于所述第二架体,所述第一架体上开设有至少一个配合孔,各所述导向套筒均安装于所述第二架体上并分别正对各所述配合孔设置,所述导向柱的第二端依序穿过对应的所述导向套筒和对应的所述配合孔。
2.根据权利要求1所述的升降承载装置,其特征在于:各所述驱动组件均包括安装架、螺套、传动丝杆和用于安装于外界基面上的驱动电机,所述安装架安装于所述第一架体上,所述螺套安装于所述安装架内,且所述螺套套设于所述传动丝杆上,所述传动丝杆的轴线方向平行于各所述导向柱的轴线方向,所述驱动电机的驱动轴与所述传动丝杆连接。
3.根据权利要求2所述的升降承载装置,其特征在于:各所述驱动组件还均包括用于安装于外界基面上的固定架,所述驱动电机安装于所述固定架的一侧,所述传动丝杆可转动地安装于所述固定架的相对另一侧并与所述驱动电机的驱动轴连接。
4.根据权利要求3所述的升降承载装置,其特征在于:所述固定架包括第一安装板和第二安装板,所述第一安装板和所述第二安装板之间安装有两装配板,所述第一安装板、所述第二安装板和两所述装配板共同围设形成有容置空间,所述驱动电机安装于所述第一安装板上,且所述驱动电机的驱动轴穿过所述第一安装板并延伸于所述容置空间内,所述传动丝杆可转动地安装于所述第二安装板上并延伸于所述容置空间内,所述传动丝杆和所述驱动电机的驱动轴在所述容置空间内连接。
5.根据权利要求2~4任一项所述的升降承载装置,其特征在于:所述驱动电机的驱动轴和所述传动丝杆通过联轴器连接。
6.根据权利要求2~4任一项所述的升降承载装置,其特征在于:各所述驱动组件还均包括保护罩,所述安装架、所述螺套和所述传动丝杆均位于对应的所述保护罩内。
7.根据权利要求1~4任一项所述的升降承载装置,其特征在于:所述驱动组件的数量为两个,两个所述驱动组件分别位于所述第一架体宽度方向的相对两侧。
8.根据权利要求1~4任一项所述的升降承载装置,其特征在于:所述配合孔、所述导向柱和所述导向套筒的数量均为四个,且四个所述配合孔分别位于所述第一架体的四个角部,四个所述导向套筒分别安装于所述第一架体的四个角部并分别正对于四个所述配合孔设置。
9.根据权利要求1~4任一项所述的升降承载装置,其特征在于:所述第一架体和所述第二架体均开设有用于安装外界物件的装配通腔。
10.一种曝光机,其特征在于:包括权利要求1~9任一项所述的升降承载装置。
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