[实用新型]气液分离装置和化学水浴沉积设备

权利要求书

1.一种气液分离装置，其特征在于，包括：气液中转腔和气体回收件；其中，所述气液中转腔以纵向中轴线分为第一区域和第二区域；

所述气液中转腔包括气液入口和出气口，所述出气口位于所述第一区域的腔壁中的侧壁，与所述气体回收件连通；

所述气液入口位于所述第二区域的腔壁。

2.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述气液入口位于所述第二区域的腔壁中的顶部或侧壁。

3.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述气液入口的位置低于所述出气口的位置。

4.根据权利要求3所述的气液分离装置，其特征在于，所述气液入口的位置高于所述气液中转腔内液体的液面，且与所述气液中转腔内液体的液面之间的距离小于设定距离。

5.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述气液分离装置还包括：气液引流件；其中，

所述气液引流件通过所述气液入口延伸进入所述气液中转腔内，用于将待分离的气液混合物在引流流出位置沿着引流流出方向引入所述气液中转腔内。

6.根据权利要求5所述的气液分离装置，其特征在于，所述气液引流件包括引流入口、引流出口和引流通道，所述待分离的气液混合物依次通过所述引流入口、所述引流通道和所述引流出口进入所述气液中转腔内；

其中，所述引流出口的引流流出方向与所述出气口的气体流出方向之间的夹角大于或等于90度。

7.根据权利要求5所述的气液分离装置，其特征在于，所述气液引流件包括引流入口、引流出口和引流通道，所述待分离的气液混合物依次通过所述引流入口、所述引流通道和所述引流出口进入所述气液中转腔内；

其中，所述引流通道在靠近所述引流出口的一侧包括弯道。

8.根据权利要求7所述的气液分离装置，其特征在于，所述气体回收件包括第一回收通道、第二回收通道、负压鼓风机和气液分离盒；其中，

所述气液混合物中的气体依次通过所述气液中转腔的出气口、所述第一回收通道、所述气液分离盒和所述第二回收通道被抽入所述负压鼓风机。

9.根据权利要求8所述的气液分离装置，其特征在于，所述气液中转腔还包括出液口，位于所述气液中转腔的底部；

所述气液分离装置还包括：液体回收件，与所述气液中转腔的出液口连通。

10.一种化学水浴沉积设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的气液分离装置。