[实用新型]一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置有效
| 申请号： | 201920245509.0 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN209741273U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 简旭宏;黄俊铭;陈彦志 | 申请（专利权）人： | 上海沅霖企业管理有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/28 |
| 代理公司： | 34115 合肥天明专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 娄岳<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 201611 上海市金山区枫*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属薄板 蚀刻液 蚀刻 本实用新型 蚀刻容器 蚀刻装置 竖直式 滞留 传送机构 两侧设置 喷液机构 不均匀 出料槽 进料槽 均匀性 排布 排出 竖直 传送 | ||
1.一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器(1)、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构(2)；其特征在于：所述蚀刻容器(1)上开设有进料槽(11)与出料槽(12)；
FMM金属薄板通过所述传送机构(2)在蚀刻容器(1)内呈凹字形或L形布置，并在传送机构(2)带动下垂直通过所述进料槽(11)进入蚀刻容器(1)内、在传送机构(2)带动下垂直通过所述出料槽(12)输出蚀刻容器(1)；
在蚀刻容器(1)内呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设有喷液机构(3)。
2.根据权利要求1所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：所述喷液机构(3)包括关于呈竖直方向布置的FMM金属薄板对称设置的左喷洒矩阵(31)与右喷洒矩阵(32)，左喷洒矩阵(31)与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离、右喷洒矩阵(32)与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离均为X；
所述距离X的取值范围为10cm≤X≤35cm。
3.根据权利要求2所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：所述左喷洒矩阵(31)与所述右喷洒矩阵(32)均包括在蚀刻液中竖直布置的固定支架(301)、沿着所述固定支架上下移动的移动支架(302)、以及设置于移动支架左表面或右表面的喷嘴(303)；
所述移动支架(302)与所述固定支架(301)相互垂直。
4.根据权利要求3所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：两相邻所述喷嘴(303)之间的间距Δh与所述喷嘴(303)和FMM金属薄板之间的水平距离X之间存在Δh:X＝4:3的关系。
5.根据权利要求3或4所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：所述喷嘴(303)为可摇摆式喷嘴；
所述喷嘴(303)的摆动角度为α、且所述摆动角度α的取值范围为50°≤α≤130°。
6.根据权利要求1所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：
当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈凹字形布置时，所述进料槽(11)与所述出料槽(12)对称开设于蚀刻容器(1)的上表面；
当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内L形布置时，所述进料槽(11)开设于蚀刻容器(1)的上表面、所述出料槽(12)开设于蚀刻容器(1)的一侧面。
7.根据权利要求1或6所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：
当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈凹字形布置时，所述传送机构(2)包括设置于进料槽上方的进料轮(21)与进料支撑轮(22)、设置于出料槽上方的出料轮(24)与出料支撑轮(25)、以及设置于蚀刻容器中的两中间轮(23)，所述进料支撑轮(22)与浸在蚀刻液中的其中一中间轮(23)位于同一竖直线上、所述出料支撑轮(25)与浸在蚀刻液中的另一中间轮(23)位于同一竖直线上；
当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈L形布置时，所述传送机构(2)包括设置于进料槽上方的进料轮(21)与进料支撑轮(22)、设置于出料槽外侧的出料轮(24)与出料支撑轮(25)、以及设置于蚀刻容器中的中间轮(23)，所述中间轮(23)与所述进料支撑轮(22)位于同一竖直线上、且所述中间轮(23)与所述出料支撑轮(25)位于同一水平线上。
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