[实用新型]一种轴向旋转装置

说明书

本实用新型涉及聚焦离子束双束仪器样品制备领域，具体涉及一种轴向旋转装置。装置包括：转移针尖：用于转移样品；转移针尖夹持台：用于夹持转移针尖，转移针尖在转移针尖夹持台中可轴向旋转设置；旋转主轴：前端设置呈倒“T”型槽，转移针尖固定在所述槽中；旋转手柄：与旋转主轴连接，带动旋转主轴转动，从而带动转移针尖转动。本实用新型装置通过将针尖固定于旋转主轴上并旋转旋转手柄来旋转针尖，由角度控制台精确控制旋转角度，且角度控制台与旋转主轴通过螺纹连接，保证了转转的稳定，整个装置满足了在聚焦离子束双束仪器制备样品过程中任意方向制样的现实需求，增大聚焦离子束双束仪器制样技术的灵活度，突破了现阶段的标准取样方法。

技术领域

本实用新型涉及聚焦离子束双束仪器样品制备领域，具体涉及一种在聚焦离子束双束仪器制备样品过程中可实现指定区域样品旋转的轴向旋转装置。

背景技术

聚焦离子束双束系统把高能离子束聚焦到样品表面，在不同气体的辅助作用下通过改变离子束流大小分别实现材料成像、切割、图形刻蚀、薄膜材料沉积等功能，能对材料进行纳米尺度的加工，进而为透射电镜、扫描电镜、原子探针等现代测试手段制备样品。

聚焦离子束双束系统可广泛应用于微观图像观察、透射电镜样品的制备、三维原子探针样品的制备、特定区域沉淀薄膜等方面。

通过常规聚焦离子束双束仪器制样技术只能获得垂直于样品表面的样品，对于半导体等形状复杂，尺寸微小的特殊样品，使用常规聚焦离子束双束仪器制备方法无法实现对制样方向的选择。

由于国内聚焦离子束制备样品技术发展较晚，目前掌握常规聚焦离子束双束仪器制样技术的研究单位只有2-3家。因此可控制样品以实现任意角度的观察和加工的装置和技术尚属空白。国外聚焦离子束双束系统制样过程中可控制样品以实现任意角度的观察和加工的技术在部分研究结构中已经出现，但存在着装置结构复杂以及制作成本昂贵的缺点。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单，可实现对提取出的指定区域样品条进行转移和轴向角度可控旋转的轴向旋转装置。

实现本实用新型目的的技术解决方案为：

一种轴向旋转装置，所述装置包括：

转移针尖：用于转移样品；

转移针尖夹持台：用于夹持转移针尖，所述转移针尖在转移针尖夹持台中可轴向旋转设置；

旋转主轴：前端设置呈倒“T”型槽，所述转移针尖固定在所述槽中；

旋转手柄：与所述旋转主轴连接，带动旋转主轴转动，从而带动转移针尖转动。

所述转移针尖包括后端的圆柱和前端的圆锥，圆锥部分的前端直径小于500纳米，用于承接取出的微纳尺寸材料，圆柱部分直径为1.0mm-1.2mm。

还包括底部固定杆，所述转移针尖夹持台中设置有T型槽，其中T型槽的横向槽为圆柱孔，供转移针尖插入，与横向槽垂直设置的竖向槽为螺纹孔；所述底部固定杆为阶梯状圆柱轴，上部直径较小的部分外周设置外螺纹，底部固定杆的上部与转移针尖夹持台的竖向螺纹孔螺纹配合，从而实现转移针尖夹持台高度的调节；所述底部固定杆的下部与聚焦离子束/扫描电镜双束系统旋转底座连接。

所述底部固定杆下部的形状与旋转底座连接部分的形状匹配。