[实用新型]一种晶舟

说明书

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种相邻晶圆承载单元间距可调节的晶舟，包括相对设置的档板、复数个可伸缩的滑杆、若干个可伸缩的铰链和若干个晶圆承载单元，复数个滑杆两两相对设置在档板上，形成一盒状结构；所述晶圆承载单元沿所述档板排列的方向依次排列在所述盒状结构内，并通过所述滑杆固定在所述盒状结构内，相邻晶圆承载单元之间通过铰链连接。本实用新型可以适应晶舟在实际过程中不同间距的要求，减少晶圆破损率，提升工作效率。

技术领域

本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其涉及一种间距可调节的晶舟。

背景技术

目前，在对晶圆的加工过程中，通过需要将晶圆放置于晶舟中以实现对晶圆的传送或加工。

图1为现有的一种晶舟的结构示意图图，如图1所示，所述晶舟中设置有多个平行排列的卡槽10，其中，各个卡槽10的宽度以及相邻卡槽10的间距均相同。

但是在晶舟的实际使用过程中，不同工艺对相邻卡槽的间距要求不同。例如在晶圆运输过程中，希望相邻卡槽间距能较小，以防止出现如图1所示的情况，晶圆在卡槽中出现较大的倾斜，而产生摩擦损伤。而在晶圆的转移过程中，则需要较大的间距，以便将晶圆批量进行转移，解决现有技术中用吸笔一片一片转移时效率低的问题。

因此，设计一种可调节相邻卡槽之间间距的晶舟成为半导体制造技术领域中急需解决的问题。

发明内容

为了解决上述问题，本实用新型提出一种晶舟，包括相对设置的档板、复数个可伸缩的滑杆、若干个可伸缩的铰链和若干个晶圆承载单元，复数个滑杆两两相对设置在档板上，形成一盒状结构；所述晶圆承载单元沿所述档板排列的方向依次排列在所述盒状结构内，并通过所述滑杆固定在所述盒状结构内，相邻晶圆承载单元之间通过铰链连接。

优选的，所述晶圆承载单元呈“U型”结构，每一晶圆承载单元均包括若干个固定块，所述固定块包括本体和用于容置晶圆的卡槽。

优选的，所述晶圆承载单元呈“U型”结构，每一晶圆承载单元均包括若干个固定块和连接固定块的固定板，所述固定块包括本体和用于容置晶圆的卡槽。

优选的，所述滑杆和铰链在外力的外用下被拉长或者缩短，进而调整相邻晶圆承载单元之间的距离。

优选的，所铰链为“X型”铰链。

优选的，每一晶圆承载单元上均设置有一个所述“X型”铰链，铰链与铰链之间相互连接。

优选的，所述晶圆承载单元能在所述滑杆上左右移动。

优选的，所述固定块本体上设置至少设置有一通孔，所述滑杆贯穿该通孔。

优选的，每一晶圆承载单元中固定块的个数≥3。

优选的，所述滑杆的数量≥3。

本实用新型提出的一种相邻晶圆承载装置间距可调节的晶舟，以适应晶舟在实际过程中不同间距的要求，减少晶圆破损率，提升工作效率。

附图说明

图1为现有的一种晶舟的结构示意图。

图2 为本实用新型具体实施方式中晶舟的主视结构示意图。

图3 为本实用新型具体实施方式中晶舟的俯视结构示意图。

图4 为本实用新型具体实施方式之晶圆承载单元的结构示意图。

具体实施方式

下面，参照附图对本实用新型的实施例进行详细说明。在此，本实用新型的范围不局限于下面所要说明的实施形态，本实用新型的实施形态可变形为多种其他形态。