[实用新型]一种带有参数监控的光水电一体式皮秒激光器结构

说明书

本实用新型公开了一种带有参数监控的光水电一体式皮秒激光器结构，包括箱体、第一箱体隔板、第二箱体隔板、第一再生腔盖板、第二再生腔盖板、第三再生腔盖板和放大腔盖板，箱体分为光仓、水仓和电仓，光仓分为第一再生腔、第二再生腔、第三再生腔和放大腔，水仓分为第一水腔、第二水腔、第三水腔和第四水腔，电仓分为第一电腔、第二电腔、第三电腔和第四电腔，第二再生腔内部设有波形监测探头，第三再生腔内部设有功率监测探头，第一再生腔盖板、第二再生腔盖板、第三再生腔盖板和放大腔盖板下表面设有温度监测探头和湿度监测探头，解决了无法对每个腔体的温度，湿度、波形和功率实的时监控，不利激光器的保护和检修等缺陷和问题。

技术领域

本实用新型涉及激光技术领域，尤其涉及一种带有参数监控的光水电一体式皮秒激光器结构。

背景技术

激光作为20世纪人类最重要的科技发明之一，经过历年的发展，直接推动了一批新兴学科与高新技术的发展，而作为激光技术的前沿技术之一——皮秒(脉宽10-12秒)脉冲激光技术在许多方面表现出相当广泛的应用前景。皮秒激光精密加工有两大特点。一是“冷加工”。传统的激光加工术(包括纳秒激光)往往会使金属、玻璃等加工原材料受热熔化。皮秒(1皮秒等于1000飞秒)和飞秒激光产生的局部高温可达6000摄氏度，比太阳表面温度还高，受作用材料表面来不及产生热扩散就被直接汽化。二是“超精细”。超快激光能够聚焦到超细微空间区域，同时具有极高峰值功率和极短的激光脉冲，加工时切面整齐、无微裂纹、无材料损伤、无熔融区域。

基于皮秒激光的精密性，温度、湿度以及灰尘对皮秒激光器的精度及加工质量有很大影响，目前普遍使用的皮秒激光器是在水冷系统出水口设置温度监测装置，只能大致了解激光器箱体温度情况，当需要检测波形和功率时，只能利用外部元器件，无法对每个腔体的具体温度，湿度、以及激光器箱体内部的波形和功率实时监控，这样对激光器的保护和检修带来了很多困难等缺陷和问题。

实用新型内容

为了克服现有技术中存在的目前普遍使用的皮秒激光器是在水冷系统出水口设置温度监测装置，只能大致了解激光器箱体温度情况，当需要检测波形和功率时，只能利用外部元器件，无法对每个腔体的具体温度，湿度、以及激光器箱体内部的波形和功率实时监控，这样对激光器的保护和检修带来了很多困难等缺陷和问题，本实用新型公开了一种带有参数监控的光水电一体式皮秒激光器结构。

本实用新型采用如下技术方案：

一种带有参数监控的光水电一体式皮秒激光器结构，包括箱体、第一箱体隔板和第二箱体隔板，第一箱体隔板和第二箱体隔板将箱体分隔为光仓、水仓和电仓，光仓设有光仓隔板，光仓隔板将光仓分隔为第一再生腔、第二再生腔、第三再生腔和放大腔，第一再生腔、第二再生腔、第三再生腔和放大腔上分别设有第一再生腔盖板、第二再生腔盖板、第三再生腔盖板和放大腔盖板，水仓设有水仓隔板，水仓隔板将水仓分隔为第一水腔、第二水腔、第三水腔和第四水腔，电仓设有电仓隔板，电仓隔板将电仓分隔为第一电腔、第二电腔、第三电腔和第四电腔，靠近第一再生腔和第二再生腔的一侧外壁设有第一种子腔和第二种子腔，箱体的一端外壁设有激光输出口，另一端设有电线口、进水口和出水口，第二再生腔内部设有波形监测探头，放大腔内部设有功率监测探头，第一再生腔盖板、第二再生腔盖板、第三再生腔盖板和放大腔盖板下表面分别设有温度监测探头和湿度监测探头。

本实用新型通过一体化设计将“光-水-电”集于一体，大幅度减少设备空间，方便运输与安装，使激光器结构更加紧凑，分仓设计使每个光仓和电仓能够得到更好的散热，使激光器具有良好的温度适应性。

进一步的，第一箱体隔板上表面设有镜座安装孔，将激光器镜座安装在第一隔板上，能够使每一个镜座得到更好的散热，整体散热均匀。

进一步的，第二箱体隔板下表面设有电路板安装孔，将激光器集成电板安装在第二隔板上，能够使每一部分的电路板得到更好的散热，整体散热均匀。