[实用新型]一种硅片旋转装置

权利要求书

1.一种硅片旋转装置，其特征在于，包括：

固定座(1)；

升降架(2)，沿竖向滑动连接于所述固定座(1)；

旋转驱动件(3)，连接于所述升降架(2)且输出端朝下设置；

吸附组件(4)，连接于所述旋转驱动件(3)的输出端；及

接近传感器(5)，连接于所述升降架(2)，所述接近传感器(5)的底面高度略高于所述吸附组件(4)的底面高度；

控制装置，分别与所述接近传感器(5)、所述吸附组件(4)及所述旋转驱动件(3)电连接。

2.根据权利要求1所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述硅片旋转装置还包括：

升降驱动件，所述升降驱动件连接于所述固定座(1)，所述升降驱动件的输出端连接所述升降架(2)，所述升降驱动件与所述控制装置电连接。

3.根据权利要求1所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述硅片旋转装置还包括：

图像识别传感器，所述图像识别传感器设置于所述升降架(2)，所述图像识别传感器与所述控制装置电连接。

4.根据权利要求1-3任一项所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述升降架(2)包括：

升降支撑件(21)，所述升降支撑件(21)沿竖向滑动连接于所述固定座(1)；及

水平支撑板(22)，所述水平支撑板(22)连接于所述升降支撑件(21)，且能够相对所述固定座(1)进行水平移动以调整所述水平支撑板(22)在所述升降支撑件(21)上的连接位置。

5.根据权利要求4所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述升降支撑件(21)上开设有连接孔，所述水平支撑板(22)上开设有长条形孔(211)，所述长条形孔(211)沿所述水平支撑板(22)的移动方向延伸，所述升降支撑件(21)和所述水平支撑板(22)之间通过依次穿过所述长条形孔(211)和所述连接孔的螺钉连接。

6.根据权利要求4所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述升降架(2)还包括：

传感器安装板(23)，所述传感器安装板(23)连接于所述水平支撑板(22)，且能够相对所述水平支撑板(22)水平移动以调整所述传感器安装板(23)在所述水平支撑板(22)上的连接位置。

7.根据权利要求1-3任一项所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述吸附组件(4)包括：

吸盘(41)，所述吸盘(41)连接于所述旋转驱动件(3)的输出端，所述吸盘(41)具有朝下开口的真空腔，所述吸盘(41)上设置有连通于所述真空腔的通气口(411)；及

负压装置，所述负压装置连通于所述通气口(411)。

8.根据权利要求7所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述吸附组件(4)还包括：

支架(42)，所述支架(42)连接于所述旋转驱动件(3)的输出端，所述支架(42)包括若干环形分布的卡爪(421)，所述吸盘(41)夹固于若干所述卡爪(421)之间。

9.根据权利要求1-3任一项所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述旋转驱动件(3)为步进电机。

10.根据权利要求9所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述步进电机的旋转轴上设置有两个用于检测旋转位置的光电接近开关，所述光电接近开关与所述步进电机电连接，两个所述光电接近开关与所述旋转轴的轴线呈直角设置。