[实用新型]磁悬浮水平超稳光学参考腔及其控制装置

权利要求书

1.磁悬浮水平超稳光学参考腔，其特征在于，磁悬浮水平超稳光学参考腔(5)外壁两侧的相同高度处分别设置有第一凸台(9)和第二凸台(10)，第一凸台(9)与第二凸台(10)对称设置；所述第一凸台(9)和第二凸台(10)的台阶面为水平面；还包括永磁体(1)，所述永磁体(1)设置在磁悬浮水平超稳光学参考腔(5)的第一凸台(9)和第二凸台(10)的相同位置。

2.根据权利要求1所述的磁悬浮水平超稳光学参考腔，其特征在于，所述磁悬浮水平超稳光学参考腔(5)为圆柱状或梭形结构。

3.磁悬浮水平超稳光学参考腔控制装置，其特征在于，包括真空腔体(7)以及设置在真空腔体(7)内的电磁铁(2)，所述真空腔体(7)用于容纳磁悬浮水平超稳光学参考腔(5)，磁悬浮水平超稳光学参考腔(5)设置在真空腔体(7)内，真空腔体(7)为磁悬浮水平超稳光学参考腔(5)提供真空环境；

磁悬浮水平超稳光学参考腔(5)上设置有永磁体(1)，永磁体(1)设置在磁悬浮水平超稳光学参考腔(5)的第一凸台(9)和第二凸台(10)的相同位置；所述电磁铁(2)设置在真空腔体(7)内顶部，且电磁铁(2)与所述永磁体(1)一一对应；永磁体(1)和电磁铁(2)共同作用产生向上拉力，实现磁悬浮水平超稳光学参考腔(5)的悬浮。

4.根据权利要求3所述的磁悬浮水平超稳光学参考腔控制装置，其特征在于，还包括传感器(3)，所述传感器(3)安装在真空腔体(7)内顶部，所述传感器(3)包括位移传感器和速度传感器，用于采集磁悬浮水平超稳光学参考腔(5)的位置和速度。

5.根据权利要求4所述的磁悬浮水平超稳光学参考腔控制装置，其特征在于，还包括PID控制器(4)，所述PID控制器(4)安装在真空腔体(7)顶部，所述传感器(3)与PID控制器(4)之间通过信号线连接，所述PID控制器(4)用于接收传感器(3)反馈的位移值和速度值，并调节驱动电磁铁(2)的电流直至超稳光学参考腔悬浮在指定位置。

6.根据权利要求5所述的磁悬浮水平超稳光学参考腔控制装置，其特征在于，所述电磁铁(2)与PID控制器(4)通过真空腔体(7)上的密封电极法兰连接，所述传感器(3)与PID控制器(4)之间通过真空室上密封电极法兰连接。

7.根据权利要求3所述的磁悬浮水平超稳光学参考腔控制装置，其特征在于，所述永磁体(1)的个数为四个，分别设置在磁悬浮水平超稳光学参考腔(5)的第一凸台(9)和第二凸台(10)上，每个凸台上各设置有两个永磁体(1)，所述真空腔体(7)内固定有四个电磁铁(2)，电磁铁(2)与其对应的永磁体(1)在竖直方向上正对设置。

8.根据权利要求3所述的磁悬浮水平超稳光学参考腔控制装置，其特征在于，每个电磁铁(2)旁的真空腔体(7)上均设置有一组传感器，每组传感器均包括一位移传感器和一速度传感器。

9.根据权利要求3所述的磁悬浮水平超稳光学参考腔控制装置，其特征在于，所述真空腔体(7)的内壁设置有热屏蔽层(6)。