[实用新型]一种抛光机用易清洗刮板刷

说明书

本实用新型公开了一种抛光机用易清洗刮板刷，包括磁固件、卡槽件、插板和板刷，所述磁固件用于吸附在抛光机下盘上；所述卡槽件平行于所述磁固件设置，且设于磁固件上靠近抛光机下盘的一侧，其高度与磁固件的高度相同；所述插板活动安装在所述卡槽件上的卡槽内，其高度小于所述卡槽件的高度，可相对所述卡槽件滑动；所述板刷垂直于所述插板设置，所述板刷长度小于集料槽半径与抛光机下盘半径的差值。本实用新型设计科学，通过磁固件将所述抛光机用易清洗刮板刷吸附在抛光机下盘上，并且采用的是活动式插板，便于调节与活动式插板相连的板刷高度，具有能够避免抛光液磨料沉积的功能，结构简单，便于使用和维护。

技术领域

本实用新型属于抛光机配件技术领域，具体涉及一种抛光机用易清洗刮板刷。

背景技术

化学机械抛光过程中，为了保持抛光液能实现循环使用，避免抛光液中的磨料沉积在集料槽中，通常会在抛光机下盘的侧面加装刮板。这种刮板一般由金属材质制成，固定安装在抛光机上，随着抛光机下盘的转动而转动，带动抛光液从集料槽的收集孔中流出。但是金属材质的刮板极易被抛光液腐蚀，而且难以清洗，导致刮板上会包覆大量结垢的磨料粒子。在抛光过程中，结垢的磨料粒子会随机的进入抛光液中，从而造成抛光表面的划伤与缺陷。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种抛光机用易清洗刮板刷，用于解决现有技术中刮板结垢导致的抛光划伤缺陷。

实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种抛光机用易清洗刮板刷，包括：

磁固件，所述磁固件用于吸附在抛光机下盘上；

卡槽件，所述卡槽件平行于所述磁固件设置，且设于磁固件上靠近抛光机下盘的一侧，其高度与磁固件的高度相同；

插板，所述插板活动安装在所述卡槽件上的卡槽内，其高度小于所述卡槽件的高度，可相对所述卡槽件滑动；

板刷，所述板刷垂直于所述插板设置，所述板刷长度小于集料槽半径与抛光机下盘半径的差值。

作为本实用新型的进一步改进，所述磁固件上远离抛光机下盘的外侧面为弧形面，所述弧形面的弧度与抛光机下盘侧面的弧度相同。

作为本实用新型的进一步改进，所述磁固件的材质为强力磁铁，其高度大于或者等于所述抛光机下盘的厚度。

作为本实用新型的进一步改进，所述磁固件的底表面、卡槽件的底表面均与抛光机下盘的底表面处于同一水平面上。

作为本实用新型的进一步改进，所述的插板材质可以是塑料、金属或者陶瓷中的任意一种。

作为本实用新型的进一步改进，所述板刷的材质可以是塑料、金属或者陶瓷中的任意一种。

作为本实用新型的进一步改进，所述板刷上刷毛的材质为塑料、动物毛或者海绵中的任意一种。

作为本实用新型的进一步改进，所述板刷与插板之间为固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

本实用新型提出的一种抛光机用易清洗刮板刷，在抛光时，通过磁固件吸附在抛光机下盘，通过调节插板的高度，使得板刷接触集料槽的底部，随抛光机下盘一起转动。在抛光结束后，取下磁固件即可进行板刷的清洗。本实用新型设计科学，通过磁固件将所述抛光机用易清洗刮板刷吸附在抛光机下盘上，并且采用的是活动式插板，便于调节与活动式插板相连的板刷高度，具有能够避免抛光液磨料沉积的功能，结构简单，便于使用和维护。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的结构示意图；

其中：