[实用新型]一种基于氮化硅的光学频率梳产生器

权利要求书

1.一种基于氮化硅的光学频率梳产生器，包括：依次设置的反射镜面、增益介质、滤波器、用于产生光学频率梳的生成器及与所述的增益介质、滤波器均相连接的控制器，所述的反射镜面用于将来自泵浦源的激光进行反射，所述的增益介质用于将反射过来的激光进行放大，所述的滤波器将激光进行输出至所述的生成器，其特征在于，所述的生成器为氮化硅器件。

2.根据权利要求1所述的基于氮化硅的光学频率梳产生器，其特征在于，所述的生成器包括光波导、环形谐振腔、谐振器及光学频率梳输出接口，所述的光波导用于将单模状态的激光导入到所述的环形谐振腔进行谐振，再将谐振后的激光导出到光学频率梳输出接口以输出光学频率梳，所述的谐振器控制谐振频率。

3.根据权利要求1所述的基于氮化硅的光学频率梳产生器，其特征在于，所述的反射镜面具有高反射镀层，至少镀在所述的增益介质的一端。

4.根据权利要求1所述的基于氮化硅的光学频率梳产生器，其特征在于，所述的增益介质采用三五族增益介质。

5.根据权利要求1所述的基于氮化硅的光学频率梳产生器，其特征在于，所述的反射镜面和增益介质通过边缘耦合在第一芯片上，所述的滤波器和生成器通过边缘耦合在第二芯片上。

6.根据权利要求1所述的基于氮化硅的光学频率梳产生器，其特征在于，所述的反射镜面和增益介质通过微棱镜耦合在第一芯片上，所述的滤波器和生成器通过微棱镜耦合在第二芯片上。

7.根据权利要求2所述的基于氮化硅的光学频率梳产生器，其特征在于，所述的谐振器包括以下功能模块：

频率接收模块，用于接收用户需要的谐振频率数值；

微处理模块，用于根据所述的谐振频率数值向谐振电机驱动模块发出指令；

谐振电机驱动模块，用于根据所述的指令驱动谐振电机的运转；

谐振电机，用于按所述的谐振频率数值实现环形谐振腔的物理谐振运动。

8.根据权利要求2所述的基于氮化硅的光学频率梳产生器，其特征在于，所述的环形谐振腔为内壁具有反射镜面的氮化硅微腔。

9.根据权利要求1所述的基于氮化硅的光学频率梳产生器，其特征在于，所述的控制器包括以下功能单元：

激发单元，用于激发和/或休眠所述的增益介质；

调节单元，用于调节所述的滤波器的通光率。

10.根据权利要求2所述的基于氮化硅的光学频率梳产生器，其特征在于，所述的控制器集成了所述的谐振器。