[实用新型]一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置

权利要求书

1.一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置，其特征在于，包括：

箱体；

支撑装置，所述支撑装置固定于所述箱体内壁的两侧之间；

调节装置，所述调节装置固定于所述箱体内壁的顶部；

水箱，所述水箱固定于所述箱体一侧的底部；

抽水机，所述抽水机固定于所述水箱的一侧；

进水管，所述进水管连通于所述抽水机的进水口与水箱的一侧之间；

出水管，所述出水管连通于所述抽水机的出水口。

2.根据权利要求1所述的一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置，其特征在于：所述支撑装置包括两个横块和两个第一滑轨，两个所述横块的底部通过轴承分别转动连接有第一螺纹杆和第二螺纹杆。

3.根据权利要求2所述的一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置，其特征在于：所述第一螺纹杆的底端通过轴承与箱体内壁的底部转动连接，所述第二螺纹杆的底端固定连接有把手。

4.根据权利要求2所述的一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置，其特征在于：所述第一螺纹杆和第二螺纹杆的外表面均螺纹连接有第一滑块，两个所述第一滑块的一侧分别与两个第一滑轨的外表面滑动连接，两个所述第一滑块相对的一侧之间固定连接有横板。

5.根据权利要求2所述的一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置，其特征在于：所述第一螺纹杆的外表面固定连接有第一皮带轮，所述第二螺纹杆的外表面固定连接有第二皮带轮，所述第一皮带轮的外表面和第二皮带轮的外表面通过皮带传动连接。

6.根据权利要求4所述的一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置，其特征在于：所述横板的顶部通过连接杆固定连接有放置板，所述放置板顶部的正面和背面均固定连接有第一限位板，所述放置板顶部的两侧均固定连接有第二限位板。

7.根据权利要求1所述的一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置，其特征在于：所述调节装置包括两个电动伸缩杆，两个所述电动伸缩杆的底端固定连接有移动板，所述移动板的底部固定连接有第二滑轨。

8.根据权利要求7所述的一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置，其特征在于：所述第二滑轨的外表面滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的底部固定连接有电机，所述电机输出轴的一端固定连接有抛光盘。

9.根据权利要求1所述的一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置，其特征在于：所述箱体内壁的两侧均固定连接有储存箱，所述箱体一侧的底部连通有排污管。

10.根据权利要求1所述的一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置，其特征在于：所述箱体的正面通过合页铰接有箱门，所述箱体和水箱的底部固定连接有底板，所述底板底部的两侧均固定连接有万向轮。