[实用新型]一种压电传感器

权利要求书

1.一种压电传感器，其特征在于，包括底座、设置在底座上的第一胶粘层，设置在第一胶粘层上的压电薄膜层、设置在压电薄膜层上的第二胶粘层、设置在第二胶粘层上的质量块、以及盖设在底座上的外壳，所述压电薄膜层包括支撑体，依次设置在支撑体上的第一电极、压电薄膜和第二电极，所述压电薄膜的厚度为0.1-10μm，所述外壳包括侧壁、顶部、连接部和空缺部，所述顶部位于底座的上方，所述连接部设置在顶部和质量块之间，所述空缺部位于质量块的上方，所述侧壁与顶部和底座连接。

2.如权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述连接部与质量块的接触面积为质量块表面积的20％-90％。

3.如权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述空缺部位于质量块几何中心的上方，所述顶部和连接部为整体式结构。

4.如权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述支撑体由不产生电荷的硬质材料制成，或者由产生电荷数量小于压电薄膜产生电荷数量的硬质材料制成，所述支撑体的厚度为0.05-2mm。

5.如权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述压电薄膜由Pb、Zr、Ti、Ba、Fe、Bi、Nb、Sr、La、Mn、Co、B、Ni、Li、Na、K、Sn和Si中的一种制成。

6.如权利要求5所述的压电传感器，其特征在于，所述压电薄膜为PZT薄膜、BaTiO薄膜、BiFeO₃薄膜、BaSrO₃薄膜、LiNbO₃薄膜、KNbO₃薄膜或LiTaO₃薄膜。

7.如权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述第一电极和第二电极由Au、Ti、Pt、Ir、Ni、La、Ru、Sr、Ag、Cr、Al、Cu中的一种制成。

8.如权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述质量块由铜、钨或钨铜制成。

9.如权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述第一胶粘层和第二胶粘层由硅橡胶、环氧树脂胶、丙烯酸酯胶和聚氨酯胶中的一种制成。

10.如权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述底座和外壳由不锈钢、Ti、Al和Cu中的一种制成。