[实用新型]一种高温化学气相沉积加热系统有效
| 申请号： | 201920281922.2 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN209669346U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 陈宇;严丽红 | 申请（专利权）人： | 张家港迪源电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 32304 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 马丽丽<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港市杨*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热系统 反应桶 加热桶 本实用新型 快速加热 传热板 绝缘性 热辐射 化学气相沉积 顶端安装 高温化学 快速降温 快速散热 内部安装 气相沉积 散热组件 外部位置 保温盖 加热层 热线圈 体内部 外部 热层 沉积 伤害 优化 | ||
1.一种高温化学气相沉积加热系统，包括反应桶体(1)，其特征在于，所述反应桶体(1)内部安装有散热组件(2)，反应桶体(1)外部两侧均安装有传热板(3)，传热板(3)外部位于反应桶体(1)外部位置处安装有加热层(4)，加热层(4)内部安装有加热线圈(5)，反应桶体(1)顶端安装有保温盖(6)，保温盖(6)顶端位于加热层(4)外部位置处安装有隔离组件(7)，隔离组件(7)外部安装有水冷层(8)，水冷层(8)底端安装有保温层(9)，反应桶体(1)内部贯穿水冷层(8)安装有废气口(10)，反应桶体(1)底端内侧贯穿保温层(9)底端安装有排气口(11)。
2.根据权利要求1所述的一种高温化学气相沉积加热系统，其特征在于，所述散热组件(2)包括导热架(201)、加强杆(202)、散热片(203)和传热孔(204)，导热架(201)之间安装有加强杆(202)，导热架(201)内部安装有散热片(203)，导热架(201)外部一侧开设有传热孔(204)。
3.根据权利要求1所述的一种高温化学气相沉积加热系统，其特征在于，所述隔离组件(7)包括隔热层(701)、绝缘层(702)和防辐射层(703)，隔热层(701)外部安装有绝缘层(702)，绝缘层(702)外部安装有防辐射层(703)。
4.根据权利要求1所述的一种高温化学气相沉积加热系统，其特征在于，所述保温盖(6)顶端安装有绝缘手柄(12)，绝缘手柄(12)外部安装有隔热套。
5.根据权利要求1所述的一种高温化学气相沉积加热系统，其特征在于，所述排气口(11)数量为两个，且排气口(11)对称分布在反应桶体(1)底端。
6.根据权利要求2所述的一种高温化学气相沉积加热系统，其特征在于，所述加热线圈(5)数量为两个，且加热线圈(5)对称分布在加热层(4)内部。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
