[实用新型]厚度平面度段差检测装置有效
申请号: | 201920283335.7 | 申请日: | 2019-03-06 |
公开(公告)号: | CN210004972U | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 陈业;贺平;李均华;邹志军;黄细刚 | 申请(专利权)人: | 深圳佰视特光电科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30;G01B11/06;G01B11/02 |
代理公司: | 44449 深圳市深弘广联知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 向用秀 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区松岗街道潭*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 共焦检测装置 光谱 移动平台 安装架 检测组件 段差 本实用新型 智能化检测 分析模块 厚度平面 检测对象 检测装置 第一级 面扫描 平面度 工作台 存储 引入 | ||
1.一种厚度平面度段差检测装置,其特征在于,包括:
工作台;
双层移动平台,所述双层移动平台包括第一级移动平台和第二级移动平台,所述第一级移动平台设置在所述工作台上,所述第二级移动平台设置在所述第一级移动平台上,所述第二级移动平台的移动方向与所述第一级移动平台的移动方向垂直;
检测组件,所述检测组件包括安装架、第一光谱共焦检测装置、第二光谱共焦检测装置,所述安装架安装在所述第二级移动平台上,所述第一光谱共焦检测装置和所述第二光谱共焦检测装置在所述安装架上呈上下对射安装,使被检测对象位于所述第一光谱共焦检测装置和所述第二光谱共焦检测装置之间的间隙内。
2.根据权利要求1所述的厚度平面度段差检测装置,其特征在于,所述检测组件还包括CCD定位相机,所述CCD定位相机安装在所述安装架上,用于拍摄被检测对象所在区域的图像。
3.根据权利要求1所述的厚度平面度段差检测装置,其特征在于,所述第一级移动平台包括第一直线驱动和第一导轨,所述第一直线驱动的定子端和所述第一导轨间隔设置在所述工作台上,所述第二级移动平台的一端底部固定连接所述第一直线驱动的动子端,所述第二级移动平台的另一端底部固定连接有第一组滑块,所述第一组滑块具有与所述第一导轨外形匹配的滑槽,使所述第一导轨卡接在滑槽内进而所述第二级移动平台被限制为只能沿所述第一导轨的延伸方向移动。
4.根据权利要求3所述的厚度平面度段差检测装置,其特征在于,所述第二级移动平台包括支撑横板、支撑竖板、第二直线驱动和第二导轨,所述第一组滑块固定连接在所述支撑横板的一端底部,所述第一直线驱动的动子端固定连接在所述支撑横板的另一端底部,所述支撑竖板竖直固定在所述支撑横板顶部,所述第二直线驱动的定子端固定在所述支撑竖板的前侧面,所述第二直线驱动的动子端具有从所述第二直线驱动的定子端的上方伸出的上连接部和从所述第二直线驱动的定子端的下方伸出的下连接部,所述第二导轨固定在所述支撑横板上且位于所述支撑竖板的后侧;
所述安装架的前侧固定连接所述上连接部和所述下连接部,所述安装架的后侧可滑动地卡接所述第二导轨。
5.根据权利要求4所述的厚度平面度段差检测装置,其特征在于,所述支撑横板和所述支撑竖板分别具有多个阵列分布的通孔。
6.根据权利要求4所述的厚度平面度段差检测装置,其特征在于,所述安装架包括连为一体的上连接臂和下连接臂,所述上连接臂和所述下连接臂之间呈U型结构,所述上连接臂的前侧固定连接所述上连接部和所述下连接部,所述上连接臂的后侧连接有第二组滑块,所述第二组滑块具有与所述第二导轨外形匹配的滑槽,使所述第二导轨卡接在滑槽内进而所述第二级移动平台被限制为只能沿所述第二导轨的延伸方向移动;
所述第一光谱共焦检测装置由第一位置调整组件位置可调地安装在所述上连接臂上,所述第二光谱共焦检测装置由第二位置调整组件位置可调地安装在所述下连接臂上。
7.根据权利要求6所述的厚度平面度段差检测装置,其特征在于,第一位置调整组件包括固定板、活动板、螺丝座和调节螺丝,所述固定板固定连接所述上连接臂,所述螺丝座设置在所述固定板上,所述第一光谱共焦检测装置固定连接所述活动板,所述活动板滑动设置在所述固定板上,所述调节螺丝与所述螺丝座螺纹配合且所述调节螺丝顶住活动板。
8.根据权利要求6所述的厚度平面度段差检测装置,其特征在于,第二位置调整组件包括固定板、活动板、螺丝座和调节螺丝,所述固定板固定连接所述下连接臂,所述螺丝座设置在所述固定板上,所述第二光谱共焦检测装置固定连接所述活动板,所述活动板滑动设置在所述固定板上,所述调节螺丝与所述螺丝座螺纹配合且所述调节螺丝顶住活动板。
9.根据权利要求1所述的厚度平面度段差检测装置,其特征在于,所述工作台上具有多个检测工位,各所述检测工位的两侧都设置有定位台和导轨。
10.根据权利要求4所述的厚度平面度段差检测装置,其特征在于,所述第一直线驱动、所述第二直线驱动包括直线电机、电缸或电动丝杆。
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