[实用新型]一种用于碳化硅晶片研磨后的清洗装置

说明书

本实用新型涉及晶片清洗附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于碳化硅晶片研磨后的清洗装置，其可以方便同时对大量的碳化硅晶片进行清洗，提高实用性；并且可以方便对清洗下的杂质等进行收集处理，降低使用局限性；包括清洗箱、四组支腿、传输管和传输泵；还包括放置箱、前支撑板、后支撑板、两组前连接杆、两组后连接杆、两组前滑轮、两组后滑轮、前限位板和后限位板；还包括出液管、连接软管、接收箱、固定板、过滤布袋、四组连接轴和四组滚轮，出液管顶端与清洗箱底部中央区域连通，并在出液管上设置有开关阀，连接软管两端分别与接收箱右侧壁底部和传输管输入端连通，传输管与清洗箱右侧壁之间设置有多组固定轴。

技术领域

本实用新型涉及晶片清洗附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于碳化硅晶片研磨后的清洗装置。

背景技术

众所周知，用于碳化硅晶片研磨后的清洗装置是一种用于碳化硅晶片生产加工过程中，对研磨后的晶片进行清洗，去除其表面粘附的杂质等，以方便其后续操作的附属装置，其在晶片清洗的领域中得到了广泛的使用；现有的用于碳化硅晶片研磨后的清洗装置包括清洗箱、四组支腿、传输管和传输泵，清洗箱内设置有清洗腔，并在清洗箱顶部设置有取放口，取放口与清洗腔相通，四组支腿顶端分别与清洗箱底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，传输管输入端与清洗箱右侧壁底部连通，传输泵安装在传输管上，传输管输出端位于清洗箱上方区域；现有的用于碳化硅晶片研磨后的清洗装置使用时，将清洗液导入清洗箱中，并将传输泵通电，当需要对研磨后的碳化硅晶片进行清洗时，启动传输泵，在传输泵的作用下将清洗箱内的清洗液通过传输管导出，将碳化硅晶片在不断流动的清洗液中进行清洗；现有的用于碳化硅晶片研磨后的清洗装置使用中发现，其不方便同时对大量的碳化硅晶片进行清洗，实用性较差；并且其不方便对清洗下的杂质等进行收集处理，使用局限性较高。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可以方便同时对大量的碳化硅晶片进行清洗，提高实用性；并且可以方便对清洗下的杂质等进行收集处理，降低使用局限性的用于碳化硅晶片研磨后的清洗装置。

本实用新型的一种用于碳化硅晶片研磨后的清洗装置，包括清洗箱、四组支腿、传输管和传输泵，清洗箱内设置有清洗腔，并在清洗箱顶部设置有取放口，取放口与清洗腔相通，四组支腿顶端分别与清洗箱底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，传输泵安装在传输管上，传输管输出端位于清洗箱上方区域；还包括放置箱、前支撑板、后支撑板、两组前连接杆、两组后连接杆、两组前滑轮、两组后滑轮、前限位板和后限位板，所述放置箱内设置有放置腔，并在放置箱顶部设置有放置口，放置口与放置腔相通，所述放置箱底部设置有多组通孔，所述前支撑板和后支撑板分别安装在放置箱前侧壁和后侧壁上半区域，所述两组前连接杆和两组后连接杆顶端分别与前支撑板和后支撑板底部连接，所述清洗箱顶部前半区域和后半区域分别设置有两组滑槽，所述两组前滑轮和两组后滑轮分别位于两组滑槽内，所述前限位板和后限位板分别安装在两组滑槽内上半区域，并在前限位板和后限位板上分别设置有两组滑动孔，所述两组前连接杆和两组后连接杆分别穿过两组滑动孔并分别与两组前滑轮和两组后滑轮可转动连接；还包括出液管、连接软管、接收箱、固定板、过滤布袋、四组连接轴和四组滚轮，所述出液管顶端与清洗箱底部中央区域连通，并在出液管上设置有开关阀，所述接收箱内设置有接收腔，并在接收箱顶部设置有接收口，接收口与接收腔相通，所述固定板安装在接收箱内上半区域，并在固定板中央区域设置有过料孔，所述过滤布袋穿过过料孔，并且过滤布袋顶部固定安装在过料孔内壁上，所述四组连接轴分别安装在接收箱底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧，所述四组滚轮分别可转动安装在四组连接轴底端，连接软管两端分别与接收箱右侧壁底部和传输管输入端连通，所述传输管与清洗箱右侧壁之间设置有多组固定轴。

本实用新型的一种用于碳化硅晶片研磨后的清洗装置，还包括两组左支撑杆、两组右支撑杆、固定杆和多组限位环，所述两组左支撑杆和两组右支撑杆底端分别安装在清洗箱顶部左半区域和右半区域，并且两组左支撑杆和两组右支撑杆顶端分别与固定杆左端和右端连接，所述多组限位环均套设在传输管上，并且多组限位环均安装在固定杆上。