[实用新型]多层回旋冷却机构

说明书

本实用新型公开了一种多层回旋冷却机构，包含有设置在离子源外侧的圆柱形冷却件，所述圆柱形冷却件包含有水路内壁、水路外壁、水路顶板和水路底板，所述水路内壁、水路外壁、水路顶板和水路底板形成一密闭空间，所述水路底板上设有进水端口和出水端口；所述水路顶板和水路底板之间设有长隔水板和短隔水板，所述水路底板和水路顶板之间还设有偶数个带有缺口的圆环状的隔水环；通过偶数个隔水环配合长隔水板和端隔水板将冷却水路形成一个均匀分布在离子源四周的环形水路，达到降低加工成本和保证冷却效果的目的。

技术领域

本实用新型涉及离子源冷却应用领域，具体涉及多层回旋冷却机构。

背景技术

传统技术中，针对圆柱形离子源一般对其侧壁采用分层式的冷却方式进行冷却，但是此种方式造成侧壁冷却不均匀，影响了冷却效果。也有部分采用传统的螺旋式的水路，但是其不易加工，增加了生产成本，不利于推广。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提出了多层回旋冷却机构，以达到降低加工成本和保证冷却效果的目的。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种多层回旋冷却机构，包含有设置在离子源外侧的圆柱形冷却件，所述圆柱形冷却件包含有水路内壁、水路外壁、水路顶板和水路底板，所述水路内壁、水路外壁、水路顶板和水路底板形成一密闭空间，所述水路底板上设有进水端口和出水端口；

所述水路顶板和水路底板之间设有长隔水板，所述长隔水板设置在所述进水端口和出水端口之间，所述水路底板上还设有短隔水板，所述短隔水板和长隔水板设置在所述出水端口两侧，且所述短隔水板的底端与所述水路底板连接，所述短隔水板的顶端与所述水路顶板之间形成有流水槽；

所述水路底板和水路顶板之间还设有偶数个带有缺口的圆环状的隔水环，处于最高位置的隔水环低于所述短隔水板的顶端，所述隔水环两端之间形成的缺口直径大于所述长隔水板和短隔水板之间的距离；所述隔水环的有且仅有一端与长隔水板和短隔水板中的一个连接，且底部开始第奇数个隔水环要与长隔水板连接，第偶数个隔水环与短隔水板连接。

本发明通过偶数个隔水环配合长隔水板和端隔水板将冷却水路形成一个均匀分布在离子源四周的环形水路，达到降低加工成本和保证冷却效果的目的。

作为优选的，所述进水端口和出水端口均设置在所述水路底板的表面，且所述出水端口通过进水阀与外部进水管道连通，所述出水端口通过出水阀与所述外部出水管道连接。

作为优选的，所述水路底板和水路顶板之间自上而下设有四个隔水环，其中从底部开始计数的第一个隔水环和第三个隔水环的头端与所述长隔水板连接，从底部开始计数的第二个隔水环和第四个隔水环的尾端与所述短隔水板连接，且第四个隔水环所处的高度低于所述短隔水板的顶端。

本实用新型具有如下优点：

1.本发明通过偶数个隔水环配合长隔水板和端隔水板将冷却水路形成一个均匀分布在离子源四周的环形水路，达到降低加工成本和保证冷却效果的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型实施例公开的多层回旋冷却机构去掉水路外壁后的结构示意图；

图2为本实用新型实施例公开的多层回旋冷却机构的主视示意图；

图中数字和字母所表示的相应部件名称：

1.水路内壁2.水路外壁3.水路顶板4.水路底板5.进水端口