[实用新型]一种溅射靶材补焊辅助装置

说明书

本实用新型公开了一种溅射靶材补焊辅助装置，涉及溅射靶材制造技术领域，包括补焊台，补焊台上设置有定位模，定位模上开设有用于放置溅射靶材的定位槽，定位模上方设置有吊杆，吊杆靠近定位模的一端沿其轴向转动设置有伸缩杆，伸缩杆与吊杆呈一定角度设置，伸缩杆远离吊杆的一端设置有用于夹紧焊枪的夹箍，定位模内设置有用于夹紧溅射靶材的夹紧组件。针对现有技术存在工人劳动强度高的问题，本实用新型通过夹箍夹住焊枪，转动伸缩杆，带动焊枪转动，补焊靶材周侧，无需工人手持焊枪，减轻加工人员的劳动强度。

技术领域

本实用新型涉及溅射靶材制造技术领域，更具体地说，它涉及一种溅射靶材补焊辅助装置。

背景技术

溅射靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等。现有溅射靶材结构，如图1所示，包括背板14和焊接在背板上的靶材15，背板14和靶材15表面均呈圆形，由于焊接过程中存在气孔等缺陷，需要对靶材15与背板14的接合位置进行补焊。

现有厂商生产时，多采用手动焊接的方式，先将溅射靶材放置在一个可以旋转的托盘上，手持焊枪，手动补焊。

现有技术实施时，若是大批量作业生产，工人长期手持焊枪，焊接溅射板材，会造成工人手臂酸疼，增加工人生产的劳动强度。

实用新型内容

针对现有技术存在工人劳动强度高的问题，本实用新型的目的是提供一种溅射靶材补焊辅助装置，便于工人补焊作业，减轻工人劳动强度。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种溅射靶材补焊辅助装置，包括补焊台，其特征在于，所述补焊台上设置有定位模，所述定位模上开设有用于放置溅射靶材的定位槽，所述定位模上方设置有吊杆，所述吊杆靠近所述定位模的一端沿其轴向转动设置有伸缩杆，所述伸缩杆与所述吊杆呈一定角度设置，所述伸缩杆远离所述吊杆的一端设置有用于夹紧焊枪的夹箍，所述定位模内设置有用于夹紧溅射靶材的夹紧组件。

通过上述技术方案，使用时，溅射靶材放置在定位槽内，将焊枪夹紧在夹箍内，转动伸缩杆，带动焊枪转动，补焊靶材周侧，由于无需工人手持焊枪，在进行批量生产加工时，可大大减轻加工人员的劳动强度。

进一步的，所述伸缩杆包括与所述吊杆转动连接的滑套，所述滑套内沿其长度方向滑移连接有滑杆，所述滑杆远离所述吊杆的一端设置有所述夹箍。

通过上述技术方案，利用滑杆与滑套之间的滑移连接，使夹箍的位置具有可调节性，使本实用新型可加不同型号的溅射靶材，增强适用性。

进一步的，所述滑杆远离所述吊杆的一端转动连接有连杆，所述连杆远离所述滑杆的一端固定有所述夹箍，所述连杆的转动平面与水平面垂直。

通过上述技术方案，连杆与滑杆转动连接，进一步增加夹箍可调节的自由度，进一步增强本实用新型的适用性。

进一步的，所述滑套侧壁螺纹连接有用于将其与所述滑杆相对位置固定的定位螺栓。

通过上述技术方案，滑动滑杆调节好焊枪位置后，拧动定位螺栓，转动伸缩杆补焊溅射靶材的过程中，避免滑杆滑移，改变焊枪的位置。

进一步的，所述夹紧组件包括贯穿所述定位模开设于所述定位槽内壁的螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹连接有夹紧螺栓。

通过上述技术方案，拧动夹紧螺栓，抵紧背板，用于将溅射靶材固定在定位槽内。

进一步的，所述夹紧螺栓靠近所述定位槽的一端固定有缓冲垫。

通过上述技术方案，缓冲垫用于避免夹紧螺栓与背板之间的刚性抵接，保护背板。

进一步的，所述夹紧螺栓的长度小于所述螺纹孔的长度。