[实用新型]一种用于金属表面材料合成的真空反应室

说明书

本实用新型公开了一种用于金属表面材料合成的真空反应室，包括箱体、放置槽和进气管，箱体的上表面两侧对称安装有轨道，放置槽开设在箱体的内部上方一侧，侧边板通过内部转轴与挡板相互连接，底部滑槽通过底部滑块与连接块相互连接，进气管与箱体的左侧内部贯穿连接，箱体的内部两侧下方对称固定有加热块，箱体的前表面通过侧边转轴与前置板相互连接，冷却水管的一端通过进水管与水泵相互连接，连接杆的侧面通过弹簧与夹板相互连接，水泵和水箱之间通过曲形管相互连接。该用于金属表面材料合成的真空反应室，可以将金属材料在箱体内部转动，使得金属表面材料分布较为均匀，并且加工结束后，可以将金属材料推动至箱体上方进行快速冷却。

技术领域

本实用新型涉及金属表面材料合成技术领域，具体为一种用于金属表面材料合成的真空反应室。

背景技术

金属表面材料合成是利用气相沉积技术完成的，气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层，具有淀积温度低、薄膜成份易控、膜厚与淀积时间成正比、均匀性、重复性好、台阶覆盖性优良等特点，该技术需要在真空反应室内部完成，操作快速，并且加工成果较好，但是现在大多数的金属表面材料合成的真空反应室是直接将金属材料放置在真空反应室内部进行加工，合成金属表面材料的气体随机分布在真空反应室的内部，合成时可能会产生金属材料外部部分位置加工不均匀，并且大多数的真空反应室加工结束后没有设置冷却的结构，使得金属材料不能立刻与其表面的合成材料紧密贴合，并且不利于操作员将其取出。针对上述问题，在原有金属表面材料合成的真空反应室的基础上进行创新设计。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于金属表面材料合成的真空反应室，解决了现在大多数的金属表面材料合成的真空反应室是直接将金属材料放置在真空反应室内部进行加工，合成金属表面材料的气体随机分布在真空反应室的内部，合成时可能会产生金属材料外部部分位置加工不均匀，并且大多数的真空反应室加工结束后没有设置冷却的结构，使得金属材料不能立刻与其表面的合成材料紧密贴合，并且不利于操作员将其取出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于金属表面材料合成的真空反应室，包括箱体、放置槽和进气管，所述箱体的上表面两侧对称安装有轨道，且轨道通过滑轨与顶板相互连接，并且滑轨对称固定在顶板的下表面两侧，所述放置槽开设在箱体的内部上方一侧，且放置槽的内部安装有冷却水管，并且箱体的两侧中间位置对称焊接有侧边板，所述侧边板通过内部转轴与挡板相互连接，且挡板的下表面预留有底部滑槽，所述底部滑槽通过底部滑块与连接块相互连接，且底部滑块固定在连接块的上端，所述连接块的下端通过上部转轴与连接杆相互连接，且连接杆的下方设置有副齿轮，所述进气管与箱体的左侧内部贯穿连接，且箱体的右侧内部贯穿连接有排气管，并且排气管的底部安装有抽气泵，所述箱体的内部两侧下方对称固定有加热块，且箱体的底面左侧安装有电机，并且电机的上端转动连接有底部转轴，同时底部转轴的上端固定有主齿轮，所述箱体的前表面通过侧边转轴与前置板相互连接，且箱体的底面中间位置转动连接有固定杆，并且固定杆的内部设置有定位杆，所述冷却水管的一端通过进水管与水泵相互连接，且水泵的侧面连接有水箱，并且水箱通过出水管与冷却水管的另一端相互连接，所述副齿轮的内部侧面通过弹簧与夹板相互连接，且夹板的下表面安装有上部滑块，并且上部滑块通过上部滑槽与副齿轮相互连接，同时上部滑槽对称预留在副齿轮的上表面两侧，所述定位杆的外部两侧对称开设有侧边滑槽，且侧边滑槽通过侧边滑块与固定杆相互连接，并且侧边滑块对称固定在固定杆的内部两侧，所述水泵和水箱之间通过曲形管相互连接。

优选的，所述顶板通过轨道和滑轨与箱体组成抽拉结构，且顶板的下表面面积等于箱体的上表面面积，并且箱体的前侧通过侧边转轴与前置板转动连接。