[实用新型]真空干燥装置有效
| 申请号： | 201920302303.7 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN209987590U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 史横舟;程方亮;葛婕;孙雅娟;王允军 | 申请（专利权）人： | 苏州星烁纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空腔室 抽气口 真空干燥装置 室内部 真空腔 支撑件 基板 垂直中心轴线 成膜均匀性 边缘区域 承载表面 对称分布 干燥过程 高度相等 基板中部 溶剂挥发 速度稳定 填充气体 抽气 涂覆 连通 墨水 抽取 均衡 申请 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括真空腔室及位于真空腔室内部的支撑件，
所述真空腔室包括抽气口，所述抽气口与真空腔室连通，所述抽气口位于真空腔室的侧部，用于抽取所述真空腔室内部的气体或向所述真空腔室内部填充气体；所述侧部至少包括两个抽气口，所述侧部的各抽气口高度相等，关于真空腔室的垂直中心轴线对称分布；
所述支撑件位于真空腔室的下方，用于承载表面涂覆有功能墨水的基板。
2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述抽气口为2～6个。
3.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述抽气口的高度低于支撑件的高度。
4.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述抽气口与基板之间的水平距离不少于抽气口的内径。
5.根据权利要求1～4任一所述的真空干燥装置，其特征在于，所述抽气口均设有相应控制阀。
6.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述支撑件包括支撑板和多个支撑柱，所述支撑柱一端安装在真空腔室的底部，另一端连接于支撑板，所述支撑板承载表面涂覆有功能墨水的基板。
7.根据权利要求6所述的真空干燥装置，其特征在于，所述支撑件的高度可调节，所述支撑件的高度占所述真空腔室高度的1/5至4/5。
8.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置还包括真空度检测元件。
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