[实用新型]具有紫外线吸收层的双面透明功能板

说明书

本实用新型公开了一种具有紫外线吸收层的双面透明功能板，该具有紫外线吸收层的双面透明功能板包含：一透明基板；一第一紫外线吸收层，该第一紫外线吸收层形成于该透明基板的上表面或下表面；及两个薄膜层，各该薄膜层分别形成于该第一紫外线吸收层及该透明基板上。本实用新型可于透明基板双面形成不同图案，且产品优良率较高。

技术领域

本实用新型是关于一种双面透明功能板，特别是关于一种具有紫外线吸收层的双面透明功能板。

背景技术

随着全球软性电子(flexible electronic)商机的快速崛起，国际上已大力投资并组成跨公司的软性透明研发，积极投入大批人力与研发经费，布局相关未来的软性透明电子产品，包括软性显示器(Flexible Display)、软性太阳能(Flexible Solar Cell)或软性照明(Flexible Lighting)等等，期许在下一波软性电子技术的热潮中能抢得市场的先机。透明电子技术是一种新兴的电子技术，专注于制造薄而透明的电子组件，如显示器、芯片和电路。目前，智能型装置如智能型手机、智能型手表、智能型显示组件等，都有可能朝向透明电子装置的趋势。这些具有透明的电子装置，逐渐都走向个性化、美观的造型设计等，这些都必须通过半导体制造来实现。

目前许多的透明电子产品，皆在透明基板的双面上制作图案、线路、保护薄膜等。传统上，要在基板上的双面制作图案技术，必须单面制作，也就是，双面的每一面都要单独通过多次的光罩、显影、蚀刻等制程，不仅技术过程繁琐，且有多次用相同的光罩，还必须解决准确定位等问题，这也导致优良率不高的结果。

因此，如何解决在透明基板双面同时形成图案的技术问题，成为目前相关制程厂商所希望的发展方向。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有紫外线吸收层的双面透明功能板及其制作方法，其是运用紫外线吸收层于薄膜蚀刻(etching)或光阻掀离(Lift-off)制程过程中，让同时进行双面同光源曝光的过程不会彼此干涉，而同步于双面形成不同图案，来实现同时在透明基板上下面形成图案的制程，借以降低透明基板的双面图案制程的步骤与成本，并达到提高制程优良率的特殊技术功效。

为达成上述目的，本实用新型提供一种具有紫外线吸收层的双面透明功能板，包含：一透明基板；一第一紫外线吸收层，形成于该透明基板的上表面或下表面；及两个薄膜层，各该薄膜层分别形成于该第一紫外线吸收层及该透明基板上。

本实用新型还提供一种具有紫外线吸收层的双面透明功能板的制造方法，包含：于一透明基板的上表面形成一第一紫外线吸收层；于该透明基板的上表面的该第一紫外线吸收层上形成一第一薄膜层，且同时于该透明基板的下表面形成一第二薄膜层；于该第一薄膜层上形成一第一光阻层，同时于该第二薄膜层上形成一第二光阻层；于该第一光阻层放置一第一光罩，同时于该第二光阻层上放置一第二光罩后，同时进行曝光；同时移除该透明基板的上下表面部分的该第一光阻层与该第二光阻层，使得该第一薄膜层未被该第一光阻层覆盖的部分形成一第一图案空间，与该第二薄膜层未被该第二光阻层覆盖的部分形成一第二图案空间；同时移除该第一图案空间下方的该第一薄膜层与该第二图案空间下方的该第二薄膜层；及同时移除剩余的该第一光阻层与剩余的该第二光阻层以形成一第一薄膜图案及一第二薄膜图案。

本实用新型又提供一种具有紫外线吸收层的双面透明功能板的制造方法，包含：于一透明基板的上表面形成一第一紫外线吸收层；于该透明基板的上表面的该第一紫外线吸收层上形成一第一光阻层，同时于该透明基板的下表面形成一第二光阻层；于该第一光阻层放置一第一光罩及于该第二光阻层上放置一第二光罩后，同时进行曝光；同时移除该透明基板的上下表面部分的该第一光阻层与该第二光阻层，使得该第一紫外线吸收层未被该第一光阻层覆盖的部分形成一第一图案空间及该透明基板的下表面未被该第二光阻层覆盖的部分形成一第二图案空间；于该第一图案空间形成一第一薄膜层，同时于该第二图案空间形成一第二薄膜层；及同时移除剩余的该第一光阻层与剩余的该第二光阻层以形成一第一薄膜图案及一第二薄膜图案。