[实用新型]高精度MEMS陀螺仪

权利要求书

1.一种高精度MEMS陀螺仪，包括硅基底及两个质量块，两个所述质量块对称设置于所述硅基底上，其特征在于：还包括一干扰模态隔离结构，两个所述质量块均为框架结构、由质量块外框（1）及质量块内框（2）组合而成，两个所述质量块外框（1）分别与所述硅基底上的锚点相连接，两个所述质量块内框（2）借助所述干扰模态隔离结构相连接。

2.根据权利要求1所述的高精度MEMS陀螺仪，其特征在于：以整个所述高精度MEMS陀螺仪的中心点为原点，以两个所述质量块中心点连线所在的直线为X轴，以经过原点且垂直于X轴方向的直线为Y轴建立二维坐标系，所述高精度MEMS陀螺仪的整体结构分别关于X轴、Y轴对称。

3.根据权利要求2所述的高精度MEMS陀螺仪，其特征在于：两个所述质量块整体关于Y轴对称。

4.根据权利要求2所述的高精度MEMS陀螺仪，其特征在于：所述硅基底上设置有四个外侧锚点（3）及两个中心锚点（4），四个所述外侧锚点（3）及两个所述中心锚点（4）均分别关于X轴、Y轴对称；两个所述质量块外框（1）均悬挂设置于所述硅基底上，两个所述质量块外框（1）相背一侧的两顶角均分别借助一根外侧U型驱动折叠梁（5）与一所述外侧锚点（3）相连接，两个所述质量块外框（1）相向一侧的两顶角均分别借助一根内侧U型驱动折叠梁（6）与一所述中心锚点（4）相连接。

5.根据权利要求1所述的高精度MEMS陀螺仪，其特征在于：所述硅基底上固定设置有固定驱动梳齿（8），所述质量块外框（1）上固定设置有驱动梳齿（9），所述固定驱动梳齿（8）与所述驱动梳齿（9）二者交错设置、共同配合形成驱动电容。

6.根据权利要求1所述的高精度MEMS陀螺仪，其特征在于：所述质量块内框（2）的四个顶角均连接有一根U型检测折叠梁（7），每个所述质量块内框（2）均借助其顶角位置的四根所述U型检测折叠梁（7）设置于一所述质量块外框（1）内部。

7.根据权利要求1所述的高精度MEMS陀螺仪，其特征在于：所述硅基底上固定设置有固定检测梳齿（10），所述质量块内框（2）上固定设置有检测梳齿（11），所述固定检测梳齿（10）与所述检测梳齿（11）二者交错设置、共同配合形成检测电容。

8.根据权利要求4所述的高精度MEMS陀螺仪，其特征在于：所述干扰模态隔离结构为一组合梁式结构，所述干扰模态隔离结构由两根T型梁（12）及四根U型梁（13）组成，两根所述T型梁（12）关于X轴对称，四根所述U型梁（13）分别关于X轴、Y轴对称。

9.根据权利要求8所述的高精度MEMS陀螺仪，其特征在于：所述干扰模态隔离结构整体分别关于X轴、Y轴对称。

10.根据权利要求8所述的高精度MEMS陀螺仪，其特征在于：每根所述T型梁（12）均包括一个长连接端及两个短连接端，两根所述T型梁（12）上的长连接端分别与一所述中心锚点（4）相连接，两根所述T型梁（12）的两短连接端分别与一所述U型梁（13）的端部相连接，所述U型梁（13）上的剩余端部均与相邻的所述质量块内框（2）相连接，每个所述质量块内框（2）上均连接有两根所述U型梁（13）。