[实用新型]气相沉积炉用尾气除油过滤装置

说明书

本实用新型公开了一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置，包括桶体和盖体，所述盖体位于所述桶体的上方，所述桶体的底部为向下凸起的曲面结构，所述桶体底部的中心设有排油口，所述桶体下方的侧面设有进气口，所述盖体上远离所述进气口的一侧设有排气口；所述桶体内部的支撑架上设有若干竖直设置的过滤布袋，所述过滤布袋顶部的水平高度低于所述排气口的底部，所述过滤布袋底部的水平高度低于所述进气口顶部的水平高度，且高于所述进气口底部的水平高度。本实用新型采用上述结构的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，结构简单，有效去除气相沉积炉尾气中的油气。

技术领域

本实用新型涉及气相沉积炉配件技术领域，特别是涉及一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置。

背景技术

气相沉积炉是利用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition)的原理，将参与化学反应的物质，加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，引至沉积室进行反应、沉积，生成新的固态物质。工业生产中气相沉积炉尾气成份复杂，现有技术中气相沉积炉的尾气由滑阀真空泵从炉体内靠负压抽出后直接进入环保设备进行尾气处理，但是，在生产过程中真空泵油受热后部份蒸发以油气形式随尾气一起被抽出，导致尾气中油气含量过高，尾气经环保设备处理后不能达到环保标准。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置，结构简单，有效去除气相沉积炉尾气中的油气。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置，包括桶体和盖体，所述盖体位于所述桶体的上方，所述桶体的底部为向下凸起的曲面结构，所述桶体底部的中心设有排油口，所述桶体下方的侧面设有进气口，所述盖体上远离所述进气口的一侧设有排气口；

所述桶体内部的支撑架上设有若干竖直设置的过滤布袋，所述过滤布袋顶部的水平高度低于所述排气口的底部，所述过滤布袋底部的水平高度低于所述进气口顶部的水平高度，且高于所述进气口底部的水平高度。

优选的，所述盖体为圆柱形，所述盖体与所述桶体之间设有密封圈，所述盖体与所述桶体之间通过螺栓连接。

优选的，所述桶体的下方设有支架。

优选的，所述过滤布袋为250目尼龙网布。

因此，本实用新型采用上述结构的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，结构简单，有效去除气相沉积炉尾气中的油气。

下面通过附图和实施例对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1是本实用新型气相沉积炉用尾气除油过滤装置实施例的示意图。

附图标记

1、桶体；2、盖体；3、进气口；4、排气口；5、支撑架；6、过滤布袋；7、排油口；8、支架。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施方式做进一步的说明。

图1是本实用新型气相沉积炉用尾气除油过滤装置实施例的示意图，如图所示，一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置，包括桶体1和盖体2，盖体2为圆柱形，盖体2位于桶体1的上方。盖体2与桶体1之间通过螺栓连接，使盖体2能够拆卸，方便对桶体1内部结构的清理和检修。盖体2与桶体1之间设有密封圈，保证盖体2与桶体1之间的气密性。桶体1下方的侧面设有进气口3，盖体2上远离进气口3的一侧设有排气口4，气体自进气口3进入，尾气经过处理后从排气口4排出。