[实用新型]一种电热性能动态检测系统有效

专利信息
申请号: 201920309954.9 申请日: 2019-03-12
公开(公告)号: CN209745854U 公开(公告)日: 2019-12-06
发明(设计)人: 刘运牙;山东良;潘锴 申请(专利权)人: 湘潭大学
主分类号: G01N25/20 分类号: G01N25/20
代理公司: 43114 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 代理人: 杨萍<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 411105 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 电热 动态响应信号 探针控制器 热探针 原子力显微镜 本实用新型 锁相放大器 关系曲线 控制器 标定 激励信号放大器 动态检测系统 实时动态检测 激励信号源 动态变化 动态激励 交流电压 实时处理 实时检测 实时侦测 响应信号 性能参数 性能空间 微尺度 样品台 响应 测量 施加 输出 分析
【权利要求书】:

1.一种电热性能动态检测系统,其特征在于,包括样品台、激励信号源、激励信号放大器、锁相放大器、热探针、原子力显微镜控制器和探针控制器;

所述样品台用于承载待测样品,样品台内设有温度控制系统;

激励信号源的两个输入接口分别连接激励信号放大器和锁相放大器;

所述激励信号放大器的输出端连接待测样品两端的电极;

所述原子力显微镜控制器包括探针驱动模块和数据处理模块;所述探针驱动模块连接热探针,用于对热探针进行空间定位;

所述探针控制器的信号输入端与热探针连接,信号输出端连接原子力显微镜控制器中的数据处理模块和锁相放大器;

锁相放大器的信号输出端连接原子力显微镜控制器中的数据处理模块。

2.根据权利要求1所述的电热性能动态检测系统,其特征在于,所述热探针包括两条悬臂,两条悬臂的前端相接触,构成为热探针的针尖,针尖部分由热敏电阻构成。

3.根据权利要求1所述的电热性能动态检测系统,其特征在于,所述探针控制器包括信号检测器和信号放大器;

所述信号检测器的输入端与热探针连接,用来侦测由热探针温度变化引起的响应信号,其输出端与信号放大器的输入端连接,将响应信号输出给信号放大器;

所述信号放大器用来对响应信号进行初步放大,其输出端连接原子力显微镜控制器中的数据处理模块和锁相放大器。

4.根据权利要求1所述的电热性能动态检测系统,其特征在于,所述原子力显微镜控制器包括信号发生模块,其输出端连接探针信号控制器,用于提供探针控制器工作所需的电信号。

5.根据权利要求1所述的电热性能动态检测系统,其特征在于,原子力显微镜控制器包括成像模块,用于实时显示数据处理模块获得的电热性能数据。

6.根据权利要求1所述的电热性能动态检测系统,其特征在于,所述样品台上竖直设置两个平行电极,检测时将待测样品放置于两个平行电极之间。

7.根据权利要求1所述的电热性能动态检测系统,其特征在于,所述样品台上水平设置一个电极,检测时将待测样品放置于电极之上进行,与待测样品上表面接触的热探针作为另一电极。

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