[实用新型]一种超声波脱模机构有效
| 申请号： | 201920313369.6 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN209616145U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 陈官海 | 申请（专利权）人： | 陈官海 |
| 主分类号： | B29C33/44 | 分类号： | B29C33/44;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 431900 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空帽 本实用新型 顶针运动 脱模机构 超声波 脱膜 粘附 芯片 超声波换能器 底板 顶针 顶针端面 方向相反 高频振动 运动组件 装置脱模 膜吸附 吸附力 掉落 变薄 拉伸 脱模 吸附 马达 背面 损伤 传递 | ||
1.一种超声波脱模机构，包括真空帽运动组件(1)、顶针运动组件(2)和底板(3)，其特征在于，所述真空帽运动组件(1)包括真空帽运动组件底部固定座(101)、真空帽运动组件活动座(102)和真空帽组件固定座(106)，所述真空帽运动组件底部固定座(101)前端左右两侧对称设置有第一直线运动导轨(113)，所述真空帽运动组件底部固定座(101)前端中部设置有第一直线马达(114)，所述第一直线运动导轨(113)上滑动连接有真空帽运动组件活动座(102)，所述第一直线马达(114)前端连接真空帽运动组件活动座(102)，所述真空帽运动组件活动座(102)前端中部设置有真空帽组件固定座(106)，所述真空帽组件固定座(106)下部设置有真空帽组件限位块(108)，所述真空帽组件固定座(106)上部设置有真空帽密封组件(105)，所述真空帽密封组件(105)上端设置有真空帽(104)，所述真空帽密封组件(105)侧端设置有真空帽气管接头(112)；
所述顶针运动组件(2)包括顶针运动组件底部固定座(201)、顶针运动组件活动板(202)和顶针(204)，所述顶针运动组件底部固定座(201)前端左右两侧对称设置有第二直线运动导轨(211)，所述第二直线运动导轨(211)均滑动连接顶针运动组件活动板(202)，所述顶针运动组件底部固定座(201)前端中部设置有第二直线马达(212)，所述第二直线马达(212)前端连接顶针运动组件活动板(202)，所述顶针运动组件底部固定座(201)右端设置有第二读数头(207)，所述顶针运动组件底部固定座(201)左端设置有第二原点检测(210)，所述顶针运动组件活动板(202)右端设置有第二光栅尺(208)，所述顶针运动组件活动板(202)前端设置有顶针组件固定座(206)，所述顶针组件固定座(206)上端设置有超声波换能器(209)。
2.根据权利要求1所述的一种超声波脱模机构，其特征在于，所述真空帽运动组件底部固定座(101)前端上下两侧对称设置有若干第一限位柱(103)。
3.根据权利要求1所述的一种超声波脱模机构，其特征在于，所述真空帽运动组件底部固定座(101)右端设置有第一读数头(109)，所述真空帽运动组件底部固定座(101)左端设置有第一原点检测(111)。
4.根据权利要求1所述的一种超声波脱模机构，其特征在于，所述真空帽运动组件活动座(102)右端设置有第一光栅尺(110)，所述真空帽(104)和真空帽密封组件(105)的连接处设置有真空帽密封垫圈(107)。
5.根据权利要求1所述的一种超声波脱模机构，其特征在于，所述底板(3)上端左侧设置有真空帽运动组件底部固定座(101)，所述底板(3)上端右侧设置有顶针运动组件底部固定座(201)。
6.根据权利要求1所述的一种超声波脱模机构，其特征在于，所述超声波换能器(209)上端设置有孔槽，所述顶针(204)下部插入孔槽中并通过顶针夹头(205)进行固定。
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