[实用新型]压力传感器

说明书

本实用新型提供一种压力传感器，能够以高可靠性将由金属制成的传感器支承部件与由非金属制成的罩彼此固定。压力传感器具有：传感器元件(5)；传感器支承部件(4)，传感器元件(5)搭载于传感器支承部件(4)，由金属材料构成；端子(6)，其贯通传感器支承部件(4)；壳体(9)，其安装于传感器支承部件(4)，由非金属材料构成；以及阻止部(20)，其设置于端子(6)，通过与壳体(9)接触来阻止传感器支承部件(4)与壳体(9)彼此离开。

技术领域

本实用新型涉及一种压力传感器。

背景技术

以往，已知有检测液体、气体等流体的压力的压力传感器。例如，在专利文献1中所记载的压力传感器具备半导体压力检测元件、基座、与基座对置配置的承接部件以及被夹在基座与承接部件之间的隔膜，这些部件被容纳在罩内。在此，在基座与隔膜之间形成有封入油的受压空间。半导体压力检测元件以配置于受压空间内的状态设置于基座。基座、承接部件以及隔膜分别由金属制成。罩由不锈钢等金属制成，罩通过激光焊接而与承接部件的外周部接合。在罩的内部填充有环氧系或聚氨酯系树脂。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2016-45172号公报

实用新型内容

在专利文献1所记载的压力传感器中，由于罩是由不锈钢等金属制成，因此很难实现轻量化。因此，考虑由树脂等非金属制成罩。但是在专利文献1所记载的压力传感器中，在由非金属制成罩的情况下，罩只通过由填充于罩内的树脂产生的粘接力而相对于基座固定。在这样的情况下，当该粘接力下降时，则罩与罩内的树脂以及部件等一同从基座脱落，有可能发生故障。

本实用新型的目的在于提供一种能够以高可靠性将由金属制成的传感器支承部件与由非金属制成的罩彼此固定的压力传感器。

本申请的示例性的实用新型是一种压力传感器，其特征在于，所述压力传感器具有：

传感器元件，其输出与流体的压力相应的信号；

传感器支承部件，其由金属材料构成，具有位于一侧的第1主面和位于另一侧的第2主面，所述传感器元件搭载在所述第1主面上；

端子，其与所述传感器元件电连接，从所述一侧向所述另一侧贯通所述传感器支承部件；

壳体，其由非金属材料构成，覆盖所述传感器支承部件的所述第2主面，并且安装于所述传感器支承部件，该壳体具有收纳所述端子的一部分的贯通孔；以及

阻止部，其设置于所述端子，通过与所述壳体接触来阻止所述传感器支承部件与所述壳体彼此离开。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述阻止部配置在所述端子的所述另一侧的部分，所述阻止部在所述贯通孔的所述另一侧具有伸出部，所述伸出部具有所述贯通孔的最小宽度以上的宽度。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述伸出部和所述端子是单一部件的一部分。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述伸出部的宽度随着接近所述传感器支承部件而逐渐增加。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述伸出部是使所述端子变形而形成的部分。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述伸出部是贯通并且固定有所述端子的电路板。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述阻止部通过使所述端子与所述壳体的规定所述贯通孔的内周面接触，来阻止所述端子与所述壳体彼此离开。