[实用新型]光学器件

权利要求书

1.一种光学器件，其特征在于，包括：

光学波导，光信号传播通过所述光学波导；以及

由多个金属通孔形成的滤光器件，所述多个金属通孔被布置为沿着所述光学波导的一部分的任一侧并且在所述光学波导的所述部分的所述任一侧上，并且被配置为滤除从所述光学波导辐射的寄生光学模式。

2.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，所述光学波导的所述部分的横向截面的尺寸等于与待传播通过所述光学波导的所述光信号的引导光学模式的最小有效面积相对应的横向截面的尺寸。

3.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，所述金属通孔被配置为吸收待传播通过所述光学波导的所述光信号的引导光学模式的少于5％的功率。

4.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，在与所述金属通孔正交的平面中，所述金属通孔与所述光学波导的所述部分之间的距离短于最大距离，超过所述最大距离，所述光信号传播通过所述光学波导的寄生光学模式的功率小于-60dB。

5.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，在与所述金属通孔正交的平面中，所述金属通孔与所述光学波导的所述部分之间的距离短于最大距离，所述最大距离等于1.7μm。

6.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，还包括在所述光学波导的所述部分的上游和下游、沿着所述光学波导的任一侧并且在所述光学波导的所述任一侧上的附加金属通孔。

7.根据权利要求6所述的光学器件，其特征在于，在所述光学波导的所述部分的上游和下游、沿着所述光学波导走向的所述附加金属通孔被配置为使得待传播通过所述光学波导的所述光信号的引导光学模式的有效折射率朝向所述光学波导的所述部分逐渐变化。

8.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，所述金属通孔与相同平面正交，所述相同平面与所述光学波导的所述部分的横向截面正交。

9.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，还包括平行于与所述金属通孔正交的平面的金属条带，所述金属条带被布置为至少部分地与所述光学波导的所述部分相对，并且被配置为在所述光信号传播通过所述光学波导时至少部分地吸收从所述光学波导的所述部分辐射的寄生光学模式。

10.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，还包括在由所述光学波导传输的所述光信号的波长处吸收的材料的条带，吸收材料的所述条带平行于与所述金属通孔正交的平面，吸收材料的所述条带至少部分地被布置为与所述光学波导的所述部分相对，并且被配置为在所述光信号传播通过所述光学波导时至少部分地吸收从所述光学波导的所述部分辐射的寄生光学模式。

11.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，沿着所述光学波导的所述部分走向的所述金属通孔被配置为在所述光信号传播通过所述光学波导时至少部分地吸收从所述光学波导的所述部分辐射的寄生光学模式。

12.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，所述光学波导的所述部分在所述光学波导的两个附加部分之间延伸，所述两个附加部分被配置为使得待传播通过所述光学波导的所述光信号的引导光学模式的有效折射率朝向所述光学波导的所述部分逐渐变化。

13.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，还包括互连结构，其中所述光学波导被嵌入在所述互连结构的绝缘层中。

14.根据权利要求13所述的光学器件，其特征在于，所述光学波导由氮化硅制成，并且所述绝缘层由氧化硅制成。