[实用新型]石英连熔炉去羟基、杂质装置有效
申请号: | 201920321822.8 | 申请日: | 2019-03-13 |
公开(公告)号: | CN209759290U | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 刘劲松;胡铁军;刘楚翱 | 申请(专利权)人: | 新沂市凯达恒业光电科技有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 11411 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 黄冠华 |
地址: | 221400 江苏省徐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 上盖 钨钼 本实用新型 步进电机 羟基 石英连熔炉 钨铼热电偶 产品品质 生产效率 同轴设置 应用过程 杂质装置 通孔 去除 生产工艺 容纳 | ||
本实用新型公开了一种石英连熔炉去羟基、杂质装置,包括上盖(1),所述的上盖(1)中间位置设置通孔,用于容纳钨钼管(2);所述的钨钼管(2)内部同轴设置钨铼热电偶(3);所述的上盖(1)还设有步进电机(4),步进电机(4)连接于钨钼管(2)。本实用新型可有效去除因生产工艺及材料本身所带来的羟基、气泡,且操作简单,见效快,在应用过程中大大提高生产效率及产品品质。
技术领域
本实用新型涉及一种石英管制造设备,具体来说,是一种石英连熔炉去羟基、杂质装置。
背景技术
二氧化硅是一种天然形成对矿物质,由于自然形成的条件原因使其存在一定数量的其它物质,统称为杂质,虽然在制作石英砂的过程中利用物理及化学方法去除了一部分,但或多或少的还一些无法去除,杂质在制作石英玻璃的过程中会严重影响其内在质量及外在质量:
1、内在质量对用户来说最为重要的应属羟基,以氢气为保护性气体的连熔炉熔制的石英玻璃,由于石英砂自身氧的存在,石英玻璃在熔制过程中会形成一定量的羟基,虽然薄壁石英管羟基可以通过真空脱羟的方式加热到1050℃经过3h即可脱出80%以上的羟基,但这样会增加生产成本。
2、外在质量大多指气泡、气线以及规格范导致的外观缺陷,规格的缺陷属制程中在做不当造成可通过人为控制解决,可是气泡气线的形成却大多是石英砂本身的内在质量引起,由于一些低熔点物质的存在,例如:钾、钠、锂,石英砂在投入连熔炉的熔制过程中,低熔点杂质在800-1400度气化,气化的杂质由于比重大于大气压,自身浮力无法排出,大量的杂质气体在石英熔融过程中聚集在一起夹杂在液态石英溶液中即形成了气线或气泡。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可有效去除因生产工艺及材料本身所带来的羟基、气泡的石英连熔炉去羟基、杂质装置。
本实用新型采用如下技术手段实现:一种石英连熔炉去羟基、杂质装置,包括上盖,所述的上盖中间位置设置通孔,用于容纳钨钼管;所述的钨钼管内部同轴设置钨铼热电偶;所述的上盖还设有步进电机,步进电机连接于钨钼管。
钨铼热电偶用于监测吹高度的温度,传输给控制器;步进电机连接控制器,接收指令向上或向下移动。
所述的钨钼管底部侧面沿着管体的圆周方向均匀布置出气孔。用于保护钨铼热电偶及向1400度料层输送气体。
所述的上盖为冂型,并且设于钨坩埚的顶部,其固定支架,密封钨管。
所述的钨钼管一侧设置混合气体接入口;所述的钨钼管与混合气体接入口相互垂直设置。混合气体接入口用于向1400度以上的料层输入氢氦混合气体。
所述的上盖上还设有支架,所述的步进电机设置于支架上。固定步进电机,保证步进电机带动钨管上下移动。
还设有控制器,所述的步进电机、钨铼热电偶均电连接于控制器,控制器为避免炉温变化,设定1400度温度值,接收热电偶温度信号,测温点高于或低于1400度,指令步进电机向上或向下移动,达到向1400度以上区域吹气的目的。
本实用新型通过设置可以插入炉内的钨铼热电偶并且热电偶可以随着步进电机上下作直线运动,直接利用气体浮力准确地将1400℃层中钾、钠、锂的气化离子及高温游离的氧原子去除。
本实用新型可有效去除因生产工艺及材料本身所带来的羟基、气泡,且操作简单,见效快,在应用过程中大大提高生产效率及产品品质。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为图1中D部放大图。
其中1-上盖,2-钨钼管,3-钨铼热电偶,4-步进电机,5-出气孔,6-钨坩埚,7-支架,8-控制器。
具体实施方式
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