[实用新型]一种残余气体微型质谱分析系统

说明书

本实用新型涉及一种残余气体微型质谱分析系统，包括前级泵、分子泵、质谱仪，所述前级泵位于操作平台的一侧，前级泵和质谱仪前级出口连接，所述分子泵安装在操作平台上，所述质谱仪和分子泵连接并且位于分子泵上方。本实用新型结构简单、操作方便，用于气体分析。本实用新型实现了设备的一体化，使得气体分析更加方便；并且设备体积小、系统成套，无需组装其它辅助设备即可使用，让气体分析效率高、时间短。

技术领域

本实用新型属于气体应用领域，具体涉及一种残余气体微型质谱分析系统。

背景技术

随着经济和科学技术的发展，气体应用的领域不断被开发，在国民经济中有着重要的作用，广泛地应用于化工、冶金、石油、石化、机械、电子、轻工等诸多技术领域。

现有技术中，质谱分析系统为体积大、占地空间多、质量重的大型精密设备，不易搬运和安装；在进行气体分析前还需要自行组装辅助设备，如抽真空设备、气体分析系统、气体进样等。由于组装工作涉及到多种专业知识，如果无专业人员指导自行组装，会使得质谱分析结果不准确，所得数据误差大；而且操作过程繁琐，所要求的操作人员多。

实用新型内容

鉴于此，本实用新型为了解决上述存在之不足，提供一种残余气体微型质谱分析系统，本装置体积小，系统成套，无需组装，分析结果准确，误差小，并且操作简单，耗时短，效率高。

本实用新型的发明人通过长期的探索尝试以及多次的实验和努力，不断改革与创新，为解决以上技术问题，所采用的具体技术方案是提供一种残余气体微型质谱分析系统，包括前级泵、分子泵、质谱仪，所述前级泵位于操作平台的一侧，前级泵和质谱仪前级出口连接，所述分子泵安装在操作平台上，所述质谱仪和分子泵连接并且位于分子泵上方。

根据本实用新型所述的残余气体微型质谱分析系统，其进一步的技术方案是：所述前级泵为隔膜泵。

根据本实用新型所述的残余气体微型质谱分析系统，其进一步的技术方案是：所述前级泵和质谱仪前级出口通过波纹管连接。

根据本实用新型所述的残余气体微型质谱分析系统，其进一步的技术方案是：所述波纹管和质谱仪前级出口连接处设有气动波纹管阀。

根据本实用新型所述的残余气体微型质谱分析系统，其进一步的技术方案是：所述质谱仪和分子泵通过超高真空法兰连接。

根据本实用新型所述的残余气体微型质谱分析系统，其进一步的技术方案是：所述操作平台下方设有电源，操作平台上设有控制阀组，控制阀组和电源连接。

根据本实用新型所述的残余气体微型质谱分析系统，其进一步的技术方案是：所述控制阀组上连接有压力开关。

根据本实用新型所述的残余气体微型质谱分析系统，其进一步的技术方案是：所述分子泵上还连接有吹扫阀，吹扫阀的另一端与真空压力表连接。

根据本实用新型所述的残余气体微型质谱分析系统，其进一步的技术方案是：所述真空压力表上还安装有压力调节阀。

根据本实用新型所述的残余气体微型质谱分析系统，其进一步的技术方案是：还包括标定气瓶，所述标定气瓶设在质谱仪上方，标定气瓶内含有氦气、氮气、氩气和氢气。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有如下优点：

1.本实用新型结构简单、操作方便，用于气体分析。本实用新型实现了设备的一体化，使得气体分析更加方便；并且设备体积小、系统成套，无需组装其它辅助设备即可使用，让气体分析效率高、时间短、误差小。

2.本实用新型还具备模块化和专业化。模块化：可根据实际应用工况，配置对应模块，即可完成多种工艺需求，同类产品往往需要更换整套设备。专业化：更换合适的进样器，以对应不同气体分子量的待检样气进行定性，定量分析。

附图说明