[实用新型]辅助破真空装置

权利要求书

1.一种辅助破真空装置，其特征在于，包括：

外筒体(1)，所述外筒体(1)的第一端部(12)与真空装置(200)连接，所述外筒体(1)的侧壁上设有至少一个第一通气口(11)；

内筒体(2)，紧密贴合地设置于所述外筒体(1)内，所述内筒体(2)的第一端部(22)封闭并靠近所述外筒体(1)的第二端部(16)设置，所述内筒体(2)的侧壁上设有至少一个第二通气口(21)；

以及，弹性件(3)，所述弹性件(3)的一端与所述内筒体(2)相抵持，所述弹性件(3)的另一端与所述外筒体(1)相抵持，所述弹性件(3)用于在所述真空装置(200)内部的真空度小于所述内筒体(2)内部的真空度时，带动所述内筒体(2)向远离所述外筒体(1)的第一端部(12)的方向运动，使得所述第一通气口(11)与所述第二通气口(21)对齐，以使所述真空装置(200)与外界连通。

2.根据权利要求1所述的辅助破真空装置，其特征在于，在所述真空装置(200)内部的真空度大于所述内筒体(2)内部的真空度时，所述内筒体(2)在真空力作用下向靠近所述外筒体(1)的第一端部(12)的方向运动，使得所述第一通气口(11)与所述第二通气口(21)错开，以使所述真空装置(200)与外界不连通。

3.根据权利要求2所述的辅助破真空装置，其特征在于，

所述外筒体(1)包括滑槽结构(13)，设置于所述外筒体(1)的内侧壁上；

所述内筒体(2)包括凸起结构(23)，设置于所述内筒体(2)的外侧壁上；

所述凸起结构(23)能够在所述滑槽结构(13)内滑动，以使所述内筒体(2)向靠近或远离所述外筒体(1)的第一端部(12)的方向运动。

4.根据权利要求3所述的辅助破真空装置，其特征在于，

所述滑槽结构(13)包括第一导向槽部(131)和第二导向槽部(132)；

在所述内筒体(2)向靠近所述外筒体(1)的第一端部(12)的方向运动时，所述凸起结构(23)在所述第一导向槽部(131)内滑动，以使所述第一通气口(11)与所述第二通气口(21)错开；

在所述内筒体(2)向远离所述外筒体(1)的第一端部(12)的方向运动时，所述凸起结构(23)在所述第二导向槽部(132)内滑动，以使所述第一通气口(11)与所述第二通气口(21)对齐。

5.根据权利要求4所述的辅助破真空装置，其特征在于，所述滑槽结构(13)还包括分隔件(133)，设置于所述滑槽结构(13)内，用于分隔所述滑槽结构(13)以形成所述第一导向槽部(131)和所述第二导向槽部(132)。

6.根据权利要求3所述的辅助破真空装置，其特征在于，所述滑槽结构(13)还包括槽口部(134)，用于在所述内筒体(2)向靠近所述外筒体(1)的第一端部(12)的方向运动时，引导所述凸起结构(23)移动到所述滑槽结构(13)内。

7.根据权利要求3所述的辅助破真空装置，其特征在于，所述外筒体(1)还包括台阶结构(14)，设置于所述外筒体(1)的内侧壁上，并位于所述滑槽结构(13)的上方，所述外筒体(1)通过所述台阶结构(14)与所述弹性件(3)的另一端相抵持。

8.根据权利要求1所述的辅助破真空装置，其特征在于，所述外筒体(1)还包括螺纹结构(15)，设置于所述外筒体(1)的靠近所述外筒体(1)的第一端部(12)的外侧壁上。

9.根据权利要求1-8任一所述的辅助破真空装置，其特征在于，所述辅助破真空装置(100)还包括端盖(4)，盖设于所述外筒体(1)的第二端部(16)上。

10.一种外观检测系统，用于薄膜太阳能电池芯片的外观检测，其特征在于，包括如权利要求1-9任一所述辅助破真空装置(100)以及真空装置(200)，所述辅助破真空装置(100)与所述真空装置(200)相连接，用于辅助所述真空装置(200)的破真空。