[实用新型]一种磁控溅射镀膜用真空箱有效
| 申请号： | 201920326967.7 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN210012894U | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 王健;宁超;康万山 | 申请（专利权）人： | 天津南玻节能玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 12226 天津企兴智财知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孟令琨 |
| 地址： | 301700 天津市武清*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 外裙板 拉板 伸缩拉杆 拉紧机构 本实用新型 固定门体 内裙板 真空箱 拉紧 门体 通孔 密封条 磁控溅射镀膜 滑动设置 门体边缘 密封性能 转动安装 密封性 穿过 容纳 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射镀膜用真空箱，其特征在于：包括箱体和箱体上转动安装的门体，所述箱体上朝向门体的一侧设有密封条、以及用于固定门体的拉紧机构；所述门体边缘设有外裙板，箱体上对应外裙板设有内裙板，所述拉紧机构包括外裙板上滑动设置的拉板、以及箱体上用于拉紧拉板的伸缩拉杆；所述拉板设置在外裙板上异于箱体的一侧，外裙板和内裙板上均设有用于伸缩拉杆通过的通孔，伸缩拉杆穿过通孔的一端设有用于容纳拉板的过孔。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜用真空箱，其特征在于：所述外裙板通过加强板与门体连接。
3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜用真空箱，其特征在于：所述拉板朝向箱体外的一侧设有用于加强拉板结构强度的横梁，伸缩拉杆上设有与横梁匹配的限位槽。
4.根据权利要求3所述的一种磁控溅射镀膜用真空箱，其特征在于：所述横梁的长度方向与拉板的长度方向相同。
5.根据权利要求3所述的一种磁控溅射镀膜用真空箱，其特征在于：所述横梁左右两侧均通过定位板与拉板连接。
6.根据权利要求5所述的一种磁控溅射镀膜用真空箱，其特征在于：所述定位板间隔设置多个，每两个相邻的定位板之间均设有用于容纳伸缩拉杆的间隙。
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