[实用新型]一种高精度平面度检测机

说明书

本实用新型提供一种高精度平面度检测机。所述高精度平面度检测机包括：底柜；保护罩，所述保护罩的底部固定于所述底柜的顶部；大理石平台，所述大理石平台的底部固定于所述底柜的顶部，且位于所述保护罩的内部；机动结构，所述机动结构设置于所述大理石平台的顶部的背面，所述机动结构包括X轴驱动结构、Y轴驱动结构和Z轴驱动结构，所述X轴驱动结构底部的两侧均通过支撑柱固定于所述大理石平台的顶部。本实用新型提供的高精度平面度检测机，不仅检测全面，提高检测的准确性，而且操作简单，实用性强，并且检测方式不仅价格一般，而且检测范围不受制于激光有效宽度，大大的提高了平面度检测设备的实用性。

技术领域

本实用新型涉及平度度检测设备领域，尤其涉及一种高精度平面度检测机。

背景技术

平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差，公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域，平面度属于形位误差中的形状误差。

在现实生活当中，平面度的检测，这时就需要用到平面度检测设备进行检测，然而传统平面度检测采用线激光进行检测，这种检测方式不仅价格昂贵而且检测范围受制于激光有效宽度，检测精度不高，而且操作复杂，并且不便于全方位的检测，严重的降低了平面度检测设备的实用性。

因此，有必要提供一种高精度平面度检测机解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种高精度平面度检测机，解决了价格昂贵而且检测范围受制于激光有效宽度，检测精度不高，而且操作复杂的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的高精度平面度检测机，包括：底柜；保护罩，所述保护罩的底部固定于所述底柜的顶部；大理石平台，所述大理石平台的底部固定于所述底柜的顶部，且位于所述保护罩的内部；机动结构，所述机动结构设置于所述大理石平台的顶部的背面，所述机动结构包括X轴驱动结构、Y轴驱动结构和Z轴驱动结构，所述X轴驱动结构底部的两侧均通过支撑柱固定于所述大理石平台的顶部，所述Z轴驱动结构的背面固定于所述X轴驱动结构的驱动端，所述Y轴驱动结构的底部设置于所述大理石平台的顶部；放置板，所述放置板的底部固定于所述Y轴驱动结构的驱动端；移载臂，所述移载臂的底部固定于所述X轴驱动结构的顶部，所述移载臂底部的一侧通过支撑杆固定于所述大理石平台的顶部的一侧；测量机构，所述测量机构设置于所述Z轴驱动结构的正面，所述测量机构包括测量头和视觉CCD，所述测量头的一端固定于所述Z轴驱动结构的正面，并且所述视觉CCD固定于所述Z轴驱动结构的驱动端。

优选的，所述测量头的底部固定连接有激光测高仪，所述激光测高仪的数量为三个，且等距固定于所述测量头的底部。

优选的，所述底柜的底部设置有支撑机构，所述支撑机构包括万向轮和支撑腿。

优选的，所述万向轮的顶部固定于所述底柜的底部，并且所述支撑腿的顶部固定于所述底柜的底部。

优选的，所述支撑机构的数量为四个，四个所述支撑机构分别设置于所述底柜底部的四角。

优选的，所述底柜的正面设置有卡接装置，所述卡接装置包括两个U型块和固定块，两个所述U型块分别固定于所述底柜的正面的两侧，所述固定块的背面固定于所述底柜的正面，且位于所述U型块的底部，所述固定块的顶部活动连接有限位杆。

优选的，所述U型块的正面和背面均固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的另一端固定连接有夹紧板，两个所述夹紧板相离的一侧均固定连接有挤压弹簧，所述挤压弹簧的另一端固定于所述U型块的内壁的正面和背面。

与相关技术相比较，本实用新型提供的高精度平面度检测机具有如下有益效果：