[实用新型]一种带有清洁装置的硅晶圆检测上料装置

权利要求书

1.一种带有清洁装置的硅晶圆检测上料装置，包括安装台(1)，其特征在于，所述安装台(1)上端固定连接有连接架(4)，所述连接架(4)的侧壁上固定连接有水平设置的横框(6)，所述横框(6)的内侧水平设有第一螺纹杆(7)，所述第一螺纹杆(7)的两端均转动连接在横框(6)的内壁上，所述横框(6)的一端固定安装有第一电机(5)，所述第一电机(5)输出轴的末端贯穿横框(6)并固定连接在第一螺纹杆(7)的一端，所述第一螺纹杆(7)上螺纹套接有第一活动块(8)，所述第一活动块(8)的侧壁上连接有夹持机构，所述安装台(1)上端固定连接有固定板(10)，所述固定板(10)侧壁上设有清洁机构。

2.根据权利要求1所述的一种带有清洁装置的硅晶圆检测上料装置，其特征在于，所述夹持机构包括固定连接在第一活动块(8)侧壁上的第一U型框(9)，所述第一U型框(9)相对的两个内壁上均固定连接有气缸(22)，所述气缸(22)的伸缩端固定连接有夹持块(21)，所述夹持块(21)为弧形结构，且夹持块(21)的内弧壁上设有夹持槽。

3.根据权利要求1所述的一种带有清洁装置的硅晶圆检测上料装置，其特征在于，所述清洁机构包括固定连接在固定板(10)侧壁上的两个固定条(12)，且两个固定条(12)上下对称设置，两个所述固定条(12)之间水平设有第二螺纹杆(18)，所述第二螺纹杆(18)的一端转动连接有固定块(20)，且固定块(20)固定连接在固定板(10)上，所述固定板(10)的侧壁上固定连接有第二电机(19)，所述第二电机(19)输出轴的末端固定连接在第二螺纹杆(18)的另一端，所述第二螺纹杆(18)上螺纹套接有第二活动块(17)，所述第二活动块(17)的侧壁上固定连接有第二U型框(15)，所述第二U型框(15)相对的两个内壁上均固定连接有喷液头(16)，所述第二U型框(15)的上下两侧壁上均固定连接有限位滑块(14)，两个所述固定条(12)侧壁上均设有限位滑槽(13)，两个所述限位滑块(14)分别滑动连接在两个限位滑槽(13)内。

4.根据权利要求1所述的一种带有清洁装置的硅晶圆检测上料装置，其特征在于，所述固定板(10)的一侧壁上固定连接有两个风扇(11)，且两个风扇(11)上下对称设置。

5.根据权利要求1所述的一种带有清洁装置的硅晶圆检测上料装置，其特征在于，所述安装台(1)上端面固定连接有上端开放的集液箱(2)，所述集液箱(2)侧壁上设有排液管(3)。

6.根据权利要求2所述的一种带有清洁装置的硅晶圆检测上料装置，其特征在于，所述夹持槽的内壁上粘接有橡胶软垫层。