[实用新型]一种抗重力超薄微热管有效

专利信息
申请号: 201920336595.6 申请日: 2019-03-15
公开(公告)号: CN209926948U 公开(公告)日: 2020-01-10
发明(设计)人: 汤勇;贾明泽;丁鑫锐;李宗涛;陈恭;钟桂生 申请(专利权)人: 华南理工大学;华南理工大学珠海现代产业创新研究院
主分类号: F28D15/04 分类号: F28D15/04;H05K7/20
代理公司: 44245 广州市华学知识产权代理有限公司 代理人: 郭炜绵
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 单晶硅片 吸液芯结构 抗重力 梭形结构 微热管 梭形 单晶硅 本实用新型 毛细吸液芯 传热性能 回流压力 相对设置 运输液体 阵列排布 蒸汽回流 直接加工 传统的 毛细 支架 加工
【权利要求书】:

1.一种抗重力超薄微热管,其特征在于,包括两片单晶硅片,所述每片单晶硅片的单面均加工有阵列排布的梭形结构,两片单晶硅片加工有梭形结构的一面相对设置,两片单晶硅片之间设有单晶硅支架,单晶硅片和单晶硅支架之间密封处理。

2.根据权利要求1所述一种抗重力超薄微热管,其特征在于,沿单晶硅片长度方向,每列梭形结构两侧均设有横截面为矩形的凹槽。

3.根据权利要求1所述一种抗重力超薄微热管,其特征在于,所述梭形结构一端为尖角,每个梭形结构的尖角朝向一致,均朝向单晶硅片的长度方向。

4.根据权利要求1所述一种抗重力超薄微热管,其特征在于,所述单晶硅支架为矩形框架结构,单晶硅片为矩形结构,单晶硅支架的长、宽、厚度分别与单晶硅片的长、宽、厚度相同,单晶硅支架的边框宽为8~12mm。

5.根据权利要求1所述一种抗重力超薄微热管,其特征在于,所述单晶硅片经过抛光处理,单晶硅片的长为100~200mm,宽为30~50mm,厚度为0.2~0.25mm。

6.根据权利要求1所述一种抗重力超薄微热管,其特征在于,所述单晶硅片和单晶硅支架之间形成容纳工质液体的真空内腔。

7.根据权利要求1所述一种抗重力超薄微热管,其特征在于,所述密封处理采用共晶键合密封技术。

8.根据权利要求6所述一种抗重力超薄微热管,其特征在于,所述工质液体为冷媒。

9.根据权利要求3所述一种抗重力超薄微热管,其特征在于,沿单晶硅片长度方向,相邻的梭形结构的尖角间隔为150~300μm;沿单晶硅片宽度方向,相邻的梭形结构的尖角间隔为65~80μm。

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