[实用新型]一种PCB等离子体处理装置

权利要求书

1.一种PCB等离子体处理装置，包括箱体(1)、箱门(2)、放置台(9)、真空泵(11)、天线(20)和高频电源(21)，所述真空泵(11)的进气口连通有抽气管(12)，所述真空泵(11)的出气口连通有出气管(13)，所述箱体(1)的表面通过合页铰接有箱门(2)，所述箱体(1)顶部的一侧与天线(20)的底部固定连接，所述箱体(1)一侧的顶部且位于储油箱(3)的正上方与高频电源(21)的左侧固定连接，其特征在于：所述箱体(1)的一侧固定连接有储油箱(3)，所述箱体(1)的顶部通过支撑板固定连接有吸油泵(4)，且吸油泵(4)的进油口连通有抽油管(5)，所述吸油泵(4)的出油口连通有出油管(6)，所述储油箱(3)内壁的一侧固定连接有制冷片(7)，所述储油箱(3)远离箱体(1)一侧的顶部连通有进油管(8)，所述箱体(1)内壁的顶部固定连接有上电极(14)，所述放置台(9)内壁的顶部固定连接有下电极(15)，所述箱体(1)远离储油箱(3)一侧的顶部固定连接有进气管(16)，所述进气管(16)表面的底部连通有连接管(17)，且连接管(17)远离进气管(16)的一端连通有连通管(18)，所述连通管(18)表面的底部固定连接有喷头(19)，所述抽油管(5)远离吸油泵(4)的一端与储油箱(3)远离箱体(1)一侧的底部相连通，所述出油管(6)远离吸油泵(4)的一端贯穿箱体(1)并延伸至箱体(1)的外部，所述出油管(6)延伸至箱体(1)外部的一端与储油箱(3)靠近箱体(1)一侧的顶部相连通。

2.根据权利要求1所述的一种PCB等离子体处理装置，其特征在于：所述箱体(1)内壁的底部且位于出油管(6)的正后方与放置台(9)的底部固定连接，所述放置台(9)内壁的两侧之间固定连接有固定板(10)，所述固定板(10)顶部的一侧与真空泵(11)的底部固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种PCB等离子体处理装置，其特征在于：所述抽气管(12)远离真空泵(11)的一端贯穿放置台(9)并延伸至放置台(9)的外部，所述出气管(13)远离真空泵(11)的一端依次贯穿放置台(9)和箱体(1)并延伸至箱体(1)的外部。

4.根据权利要求1所述的一种PCB等离子体处理装置，其特征在于：所述进气管(16)靠近箱体(1)的一端贯穿箱体(1)并延伸至箱体(1)的内部，所述进气管(16)延伸至箱体(1)内部的一端与箱体(1)内壁的一侧固定连接。