[实用新型]磨角机

说明书

本实用新型涉及半导体器件芯片制造技术领域，公开了一种磨角机，包括上磨头、安装盘、弹性组件、第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件，安装盘上固定有磨料载板；第一驱动组件能够驱动所述安装盘绕其轴线旋转，第二驱动组件能够驱动上磨头绕其轴线转动；且第三驱动组件能够驱动上磨头上下升降，以使上磨头靠近或远离安装盘。本实用新型磨角机降低了操作者的劳动强度，提升了测量样片的一致性，保证了样片的测量精度。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件芯片制造技术领域，尤其是涉及一种磨角机。

背景技术

半导体芯片加工工艺中，扩散段测量样片结深前，需要对样片进行磨角处理。一般是用金刚砂将样片手工磨成45°角，操作者需要手持样片，反复用金刚砂研磨，最终使其形成45°角。

首先，人工对样片进行磨角，费事费力，劳动强度大；其次，由于每个人的手法不同，磨出来的角度也有所差异，因此样片磨角后的一致性差异较大，对后续的测量也会产生不同程度的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种磨角机，以解决现有技术中存在的半导体芯片加工工艺中需要人工磨角，费时费力且对后续测量产生不同程度影响的技术问题。

基于上述目的，本实用新型提供了一种磨角机，所述磨角机包括上磨头、安装盘、弹性组件、第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件；

所述安装盘上固定有磨料载板，所述安装盘与所述第一驱动组件连接，所述第一驱动组件能够驱动所述安装盘绕其轴线旋转；

所述上磨头安装在所述安装盘的上方，所述上磨头设置有夹具，所述夹具用于夹持待磨样片；所述上磨头分别与所述第二驱动组件和所述第三驱动组件连接，所述第二驱动组件能够驱动所述上磨头绕其轴线转动；且所述第三驱动组件能够驱动所述上磨头上下升降，以实现所述上磨头靠近或远离所述安装盘；

所述弹性组件连接在所述上磨头上，所述弹性组件使得所述上磨头具有面向所述安装盘移动的趋势。

进一步地，所述磨角机还包括底座，所述第一驱动组件、所述第二驱动组件、所述第三驱动组件及所述安装盘分别设置在所述底座上；

所述上磨头通过所述第二驱动组件悬挂固定。

进一步地，所述第一驱动组件包括第一电机、传动带、传动齿轮以及传动槽轮；

所述安装盘设置有旋转轴；

所述第一电机通过电机架固定在所述底座的第一端，所述传动带的一端通过传动齿轮与所述第一电机的输出轴连接，所述传动带的另一端通过传动槽轮的与安装盘的旋转轴连接；

所述安装盘设置在所述底座的第二端。

进一步地，所述底座包括安装面，所述安装盘安装在所述安装面的第二端的上方，所述电机架、第一电机、旋转轴、传动齿轮以及传动槽轮分别设置在所述安装面的下方。

进一步地，所述第二驱动组件和所述第三驱动组件通过支撑架固定在所述底座上；

所述支撑架包括设置在底座第一端的主轴、与主轴连接的悬臂以及连接在悬臂一端的第三安装板，所述悬臂对应所述第三安装板的一端向下延伸有第二安装板；

所述第三驱动组件固定在所述第三安装板上，所述第二驱动组件滑动连接在所述第二安装板上；

所述第三驱动组件的动力输出端能够与第二驱动组件连接，并驱动第二驱动组件与所述上磨头同步上下运动。

进一步地，所述第二驱动组件包括第二电机，所述第二电机通过轴承套与第二电机的输出轴连接，所述第二电机的输出轴与所述上磨头通过所述弹性组件上下连接固定；

所述第二电机的轴承套滑动连接在所述第二安装板上。