[实用新型]高速高低温冲击试验气体控制系统

说明书

本实用新型公开一种高速高低温冲击试验气体控制系统，包括气源、主气路、第一支气路、制冷器、加热器、头罩及第二支气路，所述主气路的输入端与所述气源连通，所述主气路的输出端分别与所述第一支气路及第二支气路的输入端连通；所述制冷器及所述加热器依次设置于所述第一支气路上；所述头罩设有内腔及位于所述内腔外围的隔层，所述第一支气路的输出端与所述内腔连通，所述第二支气路的输出端与所述隔层连通。本实用新型高速高低温冲击试验气体控制系统具有快速调温，温度控制能力强，节能效果好的优点。

技术领域

本实用新型涉及一种试验设备，尤其涉及一种高速高低温冲击试验气体控制系统。

背景技术

为了保证半导体元件使用的可靠性以及使用寿命，在生产半导体元件后需要对其做高速高低温冲击试验，通常采用的试验设备是高低温试验箱和热冲击试验箱。进行高低温试验时，将样品放在封闭的试验箱内，通过电加热器加热，或制冷压缩机组制冷来检验样品的性能。进行热冲击试验时，需要将样品在高温环境和低温环境来回切换，检验样品的性能。对于热冲击试验箱目前普遍采用的有两种结构形式，一种为吊篮式，具有高温箱和低温箱两个试验箱，试验样品放在吊篮中，吊篮在高温箱和低温箱中来回移动停留。另一种是气道式冲击箱，设备有三个箱体，高温箱、低温箱与样品箱，通过气道相连，样品通过气道与高温箱低温箱交替相通。

然而，现有的高低温试验箱及热冲击试验箱的箱体空间都较大，并且对半导体元件批量地试验，因此，在高温及低温切换过程需要等待的时间较长，无法快速调温，并且消耗较大的电能，节能效果很差。另外，这种方式对于温度的控制能力较差，温度控制的精确性较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能快速调温，温度控制能力强，节能效果好的高速高低温冲击试验气体控制系统。

为了实现上述目的，本实用新型提供的高速高低温冲击试验气体控制系统包括气源、主气路、第一支气路、制冷器、加热器、头罩及第二支气路，所述主气路的输入端与所述气源连通，所述主气路的输出端分别与所述第一支气路及第二支气路的输入端连通；所述制冷器及所述加热器依次设置于所述第一支气路上；所述头罩设有内腔及位于所述内腔外围的隔层，所述第一支气路的输出端与所述内腔连通，所述第二支气路的输出端与所述隔层连通。

与现有技术相比，由于本实用新型利用通过设置第一支气路及第二支气路，将所述第一支气路与所述头罩的内腔连通，并且将所述制冷器及所述加热器设置于所述第一支气路上，从而可以使所述第一支气路能对高速气体快速加热或制冷，进而直接从所述第一支气路的输出端通入到所述头罩的内腔内，对内腔内的试验样品进行高速高、低温冲击试验；由于所述头罩的内腔空间较小，每次只对单个或少量的试验样品进行试验，因此，可以对内腔快速调温，温度控制精确。另外，又通过将第二支气路与所述头罩的隔层连通，所述第二支气路的气体从隔层流过可以达到两个作用，第一可以阻止内腔的热量或冷量向头罩的外层的外表面传递，从防止头罩的外表面温度过高烫伤人手或温度过低冻伤人手；第二可以防止冷量向头罩的外层的外表面传递后使外表面凝结水或冰，从而保证通过头罩的玻璃可透视到内部。

较佳地，所述主气路上设有前处理设备。所述前处理设备可以对气源提供的气体进行前处理，保证进入到所述内腔的气体符合试验的要求。

具体地，所述前处理设备包括去油器、过滤器和/或干燥器。

较佳地，在所述第一支气路上且在所述制冷器之前依次设有第一节流阀和/或第一电磁阀和/或单向阀。通过设置第一节流阀和/或第一电磁阀和/或单向阀，可以对第一支气路进行开、关和/或调速、调压。

较佳地，在所述第一支气路上且在所述制冷器之前设有流量计，所述流量计与所述制冷器相邻。

较佳地，所述第二支气路上依次设有第二电磁阀和/或第一手动阀。