[实用新型]超高真空不锈钢腔室构件去应力工艺的辅助工装

说明书

本实用新型公开了一种超高真空不锈钢腔室构件去应力工艺的辅助工装，包括橡胶垫、仿形覆盖件以及与仿形覆盖件配套设置的电子扫描仪，橡胶垫上设置在焊接完成后的工件下方，仿形覆盖件设置在工件表面上，电子扫描仪设置在工件一侧，电子扫描仪与电脑电连接。本实用新型能够很好地贴合工件的上表面，激振器启动前后分别扫描或拍照能够很容易地找出工件共振时的波峰及节线，根据工件共振时的波峰及节线确定最佳的摆放位置及摆放角度，最大化增大激振器去应力的效果。并且不需要昂贵成本的激振器，只需采用常规的最低端的能够传递激振力的激振器即可实现本实用新型的目的。

技术领域

本实用新型涉及一种超高真空不锈钢腔室构件去应力工艺的辅助工装。

背景技术

在常规的焊接过程中，焊槽和边缘会产生很高的高温，就是由于局部的高温导致局部金属进行了一次组织重组。以45#钢为例，在加工好时钢中是有奥氏体和珠光体等原子形态组成的，韧性硬度适中；而在进行一次局部高温(800度以上)后，局部的原子结果发生相应的变化，有渗碳体奥氏体马氏体等，由于三者有两者的性质，硬度较高。所以没有经过高温的材料和进过高温的材料两者之间就产生的一条新的材料带，由于原子排列的不同，导致过渡区的原子间的吸附力下降，同时也就产生了相互排斥，这样就产生了应力。在针对半导体、集成电路等产品镀膜用的真空腔体中，其对焊接的要求很高，很多都要求最好焊接而成的腔体在抽真空时能够达到10的负六次方帕斯卡的真空要求，如果焊接后的应力去除不好，未达到要求极易出现工件的变形和开裂，难以保证以后的尺寸稳定精度，甚至会由于微变形、微开裂导致真空度达不到，影响抽真空效率甚至出现产品报废。目前如何确定最佳的摆放方式以最大化增强去应力效果、如何精准测试节线(工件共振时，振型上振幅最小处称为该振型的节点，简称节点。节点连成的线称为该振型的节线，简称节线。共振时，工件可能有多个节点或节线。)未见更好的办法(目前节线的测试均是通过购置高成本的多功能激振器实现，对于许多中小型企业来说无疑增加了企业的运营成本)。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种超高真空不锈钢腔室构件去应力工艺的辅助工装，并且无需购置高成本的智能激振器，只需最常规的能够产生激振力的振动机器即可，通过简易工装的设置实现最低成本下的确定最佳摆放方式及精准测试节线。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计一种超高真空不锈钢腔室构件去应力工艺的辅助工装，包括橡胶垫、仿形覆盖件以及与仿形覆盖件配套设置的电子扫描仪，橡胶垫上设置在焊接完成后的工件下方，仿形覆盖件设置在工件表面上，电子扫描仪设置在工件一侧，电子扫描仪与电脑电连接。电子扫描仪/相机也可以换成CT(Com putedTomography)，即电子计算机断层扫描，这样在振动去应力前扫描一次，振动后扫描一次，便于找到工件共振时的波峰以及节线，这样能够确定最佳的摆放位置及摆放角度，对于批量产品，只需针对第一个产品试过后就能按照最佳摆放位置&最佳摆放角度摆放工件，保证去应力效果的最大化。油粘土类似于橡皮泥，能够很好地贴合工件的上表面(外表面)，激振器启动前后分别扫描能够很容易地找出工件共振时的波峰及节线，根据工件共振时的波峰及节线确定最佳的摆放位置及摆放角度，最大化增大激振器去应力的效果。焊接时采用氩气加氦气的气保焊工艺，具体为：焊接方法使用保护气体，保护气体为混合气体，混合气体采用氩气及氦气的混合气体，其中氩气的体积占比为1.5％～99.5％。

进一步的技术方案是，仿形覆盖件为油粘土。